電子潔凈室污染因素：

一、電磁噪聲

通過大電流的氧化爐等設(shè)備的電纜和反復(fù)控制通斷的電磁開關(guān)，高頻振蕩等產(chǎn)生的電磁噪聲，影響電子束掃描設(shè)備的掃描精度。其影響程度與發(fā)生源的距離成反比。

二、振動(dòng)

設(shè)備內(nèi)的真空泵電機(jī)工作時(shí)會(huì)把振動(dòng)經(jīng)地板傳遞到微細(xì)加工設(shè)備和顯微鏡等精密設(shè)備儀器上，影響它們的工作精度。

應(yīng)在振源和怕受振動(dòng)的設(shè)備下安裝空氣的彈簧減震器，以達(dá)到衰減振動(dòng)的目的。

三、生銹

酸用通風(fēng)罩局部排風(fēng)量不足時(shí)，酸霧氣擴(kuò)散于室內(nèi)，腐蝕室內(nèi)設(shè)備的金屬部分，就是不銹鋼露在含CI氣的空氣中，也會(huì)受腐蝕生銹。

處理酸的有效的方法是采用密閉通風(fēng)罩，保證足夠的局部排風(fēng)量。

潔凈室的這些污染源，你可能都忽略了！

對(duì)潔凈室局部改造的施工中，通常人在地板下鋪設(shè)管道或者坐在地板上進(jìn)行作業(yè)。這種施工有時(shí)切割管道，于是聚氯i乙烯管和不銹鋼等切屑粉末飛揚(yáng)出來。

所以大修時(shí)盡管周圍掛上檔布以養(yǎng)護(hù)，但由于施工人員進(jìn)進(jìn)出出，受污染的不僅僅是局部范圍，而且全室都受嚴(yán)重污染。

在潔凈室內(nèi)，只用有人在操作，有設(shè)備在運(yùn)行，就會(huì)發(fā)塵。這些塵埃并非隨著循環(huán)氣流為高i效過濾器所捕集，一部分塵?？傄e落在地板、墻壁、設(shè)備表面上。應(yīng)清除這些積塵，以保持潔凈室的清潔。

總體來說，潔凈區(qū)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是十分必要的，可以24小時(shí)監(jiān)測(cè)潔凈區(qū)，從而可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題，并解決。

潔凈車間必須在生產(chǎn)車間中間施壓差，生產(chǎn)車間務(wù)必超過5Pa，殘壓力閥凈化車間能夠積極調(diào)整房間內(nèi)負(fù)壓，將其操縱在一定范疇內(nèi)，當(dāng)房間內(nèi)為正壓力情況時(shí)，剩下的氣體將被排出來，維持內(nèi)外平穩(wěn)的正負(fù)極壓力差，當(dāng)房間內(nèi)負(fù)壓力情況被積極關(guān)掉時(shí)，將避免 不干凈的的外界空氣回生產(chǎn)車間，殘壓力閥對(duì)負(fù)壓的忽然轉(zhuǎn)變具備較強(qiáng)的適用范圍。