真空干燥箱操作方法：

1、 需干燥處理的物品放入真空干燥箱內(nèi)，將箱門關(guān)上，并關(guān)閉放氣閥，開啟真空閥，接通真空泵電源開始抽氣，使箱內(nèi)真空度達(dá)到-0.1M Pa時(shí)，關(guān)閉真空閥，再關(guān)閉真空泵電源。

2、 把真空干燥箱電源開關(guān)撥至“開”處，選擇所需的設(shè)定溫度，箱內(nèi)溫度開始上升，當(dāng)箱內(nèi)溫度接近設(shè)定溫度時(shí)，加熱指示燈忽亮忽熄，反復(fù)多次，一般120min以內(nèi)可進(jìn)入恒溫狀態(tài)。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱工作原理

當(dāng)保溫滅菌時(shí)間達(dá)到設(shè)定值時(shí)，時(shí)間繼電器輸出信號(hào)給PLC，PLC輸出全閉電加熱，開啟水冷卻電磁閥，使其吸合導(dǎo)通，從而箱體處于冷卻降溫階段。當(dāng)箱內(nèi)溫度下降≤40℃時(shí)，溫控儀輸出控制信號(hào)給PLC，PLC輸出關(guān)閉熱風(fēng)循環(huán)風(fēng)機(jī)，干燥滅菌周期程序結(jié)束。 TEED一2001 K超溫報(bào)警溫控儀輸出信號(hào)控制PLC整個(gè)程序的運(yùn)行，鉑電阻PT 100測試信號(hào)至報(bào)警溫控儀與超溫報(bào)警設(shè)置溫度值進(jìn)行比較，當(dāng)實(shí)際溫度值低于設(shè)定值時(shí)，輸出控制信號(hào)給PLC，PLC程序正常運(yùn)行。當(dāng)實(shí)際溫度值超過設(shè)定值時(shí)，輸出控制信號(hào)給PLC，PLC關(guān)閉運(yùn)行程序。故超溫報(bào)警的設(shè)置值一般要高于工作溫度的設(shè)定值。1、熱風(fēng)循環(huán)烘箱大小的選擇設(shè)備大小可根據(jù)烘干物品的大小和多少來確定。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱的配置

溫度控制

1，本型干燥箱采用具有P、I、D控制方式的數(shù)顯溫度控制儀，配用熱敏元件探頭組成自動(dòng)恒溫控制?？販鼐褥`敏，選溫方面，常溫至250℃，任意選擇設(shè)定。工作室內(nèi)溫度可以從儀表直接讀出。

2，定時(shí)控制：定時(shí)范圍（0S-99.9H），可根據(jù)客戶工作要求來選擇控制方式（開機(jī)計(jì)時(shí)或恒溫計(jì)時(shí)），達(dá)到設(shè)定時(shí)間后自動(dòng)切斷加熱，設(shè)定時(shí)可直接在控制面板上撥動(dòng)撥碼開關(guān)，其中代碼單位：（S秒M分H小時(shí)）。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時(shí)間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時(shí)間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時(shí)間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。水平式循環(huán)通風(fēng)，使之箱內(nèi)的溫度更加均勻，本型烘干箱能有效的避免工作室內(nèi)存在的梯度溫差及溫度過沖現(xiàn)象，且能提高工作室內(nèi)的溫度均勻性。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個(gè)層的位置不能移動(dòng)。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。熱風(fēng)循環(huán)烘箱的操作在各種試驗(yàn)中都比較簡單，但在使用過程中也可能遇到各種情況。