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高純供氣系統(tǒng)廠家誠信企業(yè)「在線咨詢」

發(fā)布時間:2021-06-25 07:30  

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實驗室氣體的危險性

1.有部分氣體具有毒、強(qiáng)腐蝕等特性,其一旦泄漏,就可能會對工作人員及儀器設(shè)備造成傷害;

2.多種氣體在同一個環(huán)境下使用,如果有兩種會發(fā)生燃燒或爆1炸等強(qiáng)烈化學(xué)反應(yīng)的氣體同時泄漏,就可能對工作人員以及儀器設(shè)備造成傷害;

3.多數(shù)氣瓶出口壓力1高可達(dá)15MPa,即150公斤/cm2,如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈,就有可能將一些部件激1射出去,其能量對人體或設(shè)備都具有致命性的傷害。

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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹

大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

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試驗室集中供氣系統(tǒng)的特點

1、特點:試驗室要求使用載氣流量恒定、氣體純度高,為試驗室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的氣體。

2、經(jīng)濟(jì)性:建一個集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的試驗室空間,更換氣瓶時不需要切斷氣體,保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。使用者只需管理較少的氣瓶,支付較少的氣瓶租金,因為使用同一氣體的所有使用點來自于同一個氣源。消除時間:是指從檢漏方法停止(如停止噴吹示漏氣體)到指示方法或儀器指示值下降到漏孔泄漏率的37%時所需的時間。此種供應(yīng)方式終會減少運(yùn)輸費用,減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量,以及良好的氣瓶管理。

3、使用率:集中管道供應(yīng)系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點處,這樣的話可以更合理的設(shè)計工作場所。

4、安全性:保證其儲存和使用的安全性。保障分析測試人員在實驗中免受有毒有害氣體的侵害。

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