氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；氦質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應用提供廣泛的測試方法，含有渦輪分子泵、內(nèi)置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的應用拓展

氦質(zhì)譜檢漏儀的應用已從科學院、大專院校、實驗室及少數(shù)科研機構(gòu)走向工礦企業(yè)，甚至鄉(xiāng)鎮(zhèn)企業(yè)、個體企業(yè)，可以說應用領(lǐng)域極其寬廣。

航空航天高科技工業(yè)

1）例如火箭發(fā)動機及姿態(tài)發(fā)動機，過去是打壓刷肥皂水檢漏，現(xiàn)在重新改進工藝用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與氦罩法結(jié)合，使檢漏靈敏度大大提高，從而保證了發(fā)動機質(zhì)量?；鸺w的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結(jié)合。由于檢漏技術(shù)的應用，提高了檢漏靈敏度，彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。真空箱氦檢漏及回收系統(tǒng)在汽車空調(diào)的應用一水檢和氦檢兩種檢漏方法的分析目前，水檢和氦檢兩種檢漏方法國內(nèi)汽車空調(diào)兩器檢漏主要的方法，下面將分析兩種檢漏方法的優(yōu)缺點。

2）KM6空間環(huán)模裝置設(shè)備龐大，主真空室直徑12m、高22m，另外有輔助真空室和載人艙等。容積3500m3，分系統(tǒng)多，結(jié)構(gòu)復雜，各種接口焊縫相加有幾千米長，采用氦質(zhì)譜檢漏儀負壓檢漏，每條焊縫由檢漏盒密封，配以鋪助抽氣系統(tǒng)將盒內(nèi)抽低真空后，充入一定壓力氦氣，關(guān)閉預抽閥，開啟檢漏閥。由于盒內(nèi)氦濃度較高，相對檢漏儀又有一定壓力，因此有效提高了檢漏靈敏度。l/s，在實際測漏過程中，被檢工件的漏率大于此值就會形成漏點報警，小于此值就認為該鋼瓶密封要求合格。

3）航天工業(yè)中，衛(wèi)1星、各類閥門、電子元器件，傳感器等等都在廣泛應用氦質(zhì)譜檢漏儀及其檢漏技術(shù)。

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真空箱氦檢漏的特征和優(yōu)點

1、高壓氮氣強度檢測真空箱內(nèi)進行，保護操作者安全

2、真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準確性、。

3、檢漏儀的自動校準功能以及自動校準程序，可隨時校準檢漏儀的靈敏度、準確度。

4、特殊設(shè)計的檢測程序判斷出具體的有漏工件，并通過燈光和液晶操作屏顯示出來。

5、技術(shù)的密封接頭，減少誤判。

6、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護及聲光報警功能，確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運行。

7、PLC控制，使系統(tǒng)運行清晰明了，實現(xiàn)了實時監(jiān)測及控制。

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