半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備

         廢氣介紹：由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類(lèi)廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。這些廢氣主要可以分為四類(lèi)：酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣和有毒廢氣。

        廢氣危害：半導(dǎo)體制造工藝中產(chǎn)生的廢氣如果沒(méi)有經(jīng)過(guò)很好的處理進(jìn)行排放，將造成嚴(yán)重的問(wèn)題，不僅影響人們的身體健康，惡化大氣環(huán)境，造成環(huán)境污染的公害事件等，也會(huì)成為半導(dǎo)體制造中AMC污染的重要來(lái)源。

        廢氣處理設(shè)備處理方法：依據(jù)這些廢氣的特性，在處理上采用水洗、氧化/燃燒、吸附、解離、冷凝等方法，針對(duì)不同污染物，可采取以下綜合處理方法：1.一般排氣系統(tǒng) 2.酸性、堿性廢氣處理系統(tǒng) 3.有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)。