光波超精密技術(shù)研究院——單軸花崗石氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌是傳動系統(tǒng)運動的基礎(chǔ)，是傳動系統(tǒng)的關(guān)鍵部件之一。因其空氣粘滯低、不易爬行、振動小、熱穩(wěn)定性好、不污染環(huán)境等優(yōu)點。因此這次測試裝置采用空氣靜壓導(dǎo)軌進行設(shè)計。氣靜壓力導(dǎo)軌是指通過書流器將有一定壓力的空氣輸送到導(dǎo)軌間隙內(nèi)，利用氣靜壓力使導(dǎo)軌懸浮，在導(dǎo)軌表面之間形成一層極薄的氣膜，而氣膜厚度基本不變的純空氣摩擦滑動導(dǎo)軌。氣浮導(dǎo)軌副由氣浮塊和承導(dǎo)面組成，每個承導(dǎo)面上至少有兩個氣浮塊。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——單軸花崗石氣浮導(dǎo)軌

相同尺寸的空氣軸承，工作時氣膜厚度和節(jié)流孔直徑減少，可使軸承的剛度提高，但如果節(jié)流孔過小，就會給加工制造增加難度，并且容易出現(xiàn)堵塞現(xiàn)象，因此，在空氣軸承的具體設(shè)計中，還應(yīng)考慮使用環(huán)境、加工水平等實際因素。空氣軸承如果發(fā)生傾斜，氣膜不均勻?qū)⒔档涂諝飧×S承的剛度，因此在使用時應(yīng)盡量避免這種現(xiàn)象。氣浮導(dǎo)軌在設(shè)計時，可盡可能將同一方向的空氣軸承分散開來。

靜壓氣浮導(dǎo)軌是由氣浮塊、導(dǎo)軌等部件組成。氣浮運動時，氣浮塊與導(dǎo)軌間有壓縮氣體流動形成的氣浮薄膜，這種氣浮薄膜的存在，使氣浮塊與導(dǎo)軌面不直接接觸，減少了摩擦，因而廣泛應(yīng)用于精密機床、測量機等精密機械。

光波超精密——單軸花崗石氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌是利用空氣粘性，將外部壓縮空氣通過節(jié)流器導(dǎo)入導(dǎo)軌與滑塊間隙中，形成具有超高剛度的氣膜間隙，從而支撐負載實現(xiàn)平穩(wěn)運動。

應(yīng)用行業(yè)：電子制造裝備行業(yè)中，如光刻機、貼片機等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測量及實驗室測量

使用壽命摩擦系數(shù)接近為零，永不i磨損，精度延續(xù)性精度持久性高，出廠精度即為永i久精度導(dǎo)軌永不i磨損，因此不存在售后問題，使用成本不用返廠維修，更不用整套更換。

基準修正精度永不損失，導(dǎo)軌不用人為修正，補償，高頻雜波信號干擾測量精度高。氣膜剛度大，運動平穩(wěn)，振幅小，且振動頻率接近，因此可完全避免和消除在高精度測量中振動對測量精度的影響，

氣浮導(dǎo)軌，簡單易行，即利用壓縮空氣使滑塊和導(dǎo)軌座相對懸浮，實現(xiàn)無摩擦、無振動的平滑運動，并具有高精度導(dǎo)引。氣浮導(dǎo)軌相位滾動導(dǎo)軌的優(yōu)點有：1.無摩擦、磨損小、壽命長。氣模厚度極i小，且均勻度好，精度高。三、氣膜厚度與速度幾乎沒有關(guān)系，即使在非常低速也不會產(chǎn)生爬行，運動平穩(wěn)。四、低發(fā)熱量、低維護、清潔環(huán)保。

作為工業(yè)產(chǎn)品，直線導(dǎo)軌在機械上的應(yīng)用很重要，肯定是要用到它的，不僅僅是美觀上，在應(yīng)用體驗上也要創(chuàng)新設(shè)計，對產(chǎn)品進行不斷的研究，直線導(dǎo)軌在不同的應(yīng)用上使用一定年限后會產(chǎn)生變化，那么就需要我們對產(chǎn)品進行設(shè)計和改進。

所以既然要設(shè)計直線導(dǎo)軌，那么首先要遵循直線導(dǎo)軌副的自動貼合原理，要使導(dǎo)軌精度高，就必須使導(dǎo)軌副具有自動貼合的特點。橫梁可以靠移動部件的重量來固定，而其他的橫梁則需要額外的彈簧力或滾筒壓力來固定。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——單軸花崗石氣浮導(dǎo)軌

然后是全接觸原理，固定直線導(dǎo)軌的長度，要求動導(dǎo)軌必須處于行程的兩個極限位置，與固定導(dǎo)軌進行全接觸，以保證直線導(dǎo)軌副在接觸過程中能完成全接觸，使之達到完i美狀態(tài)。

在使用環(huán)境惡劣的地方，有的型號還配備了專用的軟伸縮防塵罩和專用的防塵罩。此外，如果需要在易受切削屑和切削液噴濺影響的環(huán)境下使用，建議采用軟環(huán)形伸縮罩，以保護整個系統(tǒng)，或采用大面積伸縮防塵罩。

為了改善防塵性能，每一直線導(dǎo)軌系統(tǒng)均配以高耐磨損的特殊合成橡膠制成的密封墊片，以及層疊式接觸刮i刀、清潔環(huán)等配件。