測量器具與被測零件都會因?qū)嶋H溫度偏離標(biāo)準(zhǔn)溫度和受力（重力和測量力）而產(chǎn)生變形，形成測量誤差。在測量過程中，控制測量溫度及其變動、保證測量器具與被測零件有足夠的等溫時間、選用與被測零件線脹系數(shù)相近的測量器具、選用適當(dāng)?shù)臏y量力并保持其穩(wěn)定、選擇適當(dāng)?shù)闹С悬c等，都是實現(xiàn)小變形原則的有效措施。測量方法：單項測量和綜合測量：對個別的、彼此沒有聯(lián)系的某一單項參數(shù)的測量稱為單項測量。同時測量個零件的多個參數(shù)及其綜合影響的測量。用測量器具分別測出螺紋的中徑、半角及螺距屬單項測量；而用螺紋量規(guī)的通端檢測螺紋則屬綜合測量。通常用精密經(jīng)緯儀進行，以其望遠(yuǎn)鏡的視準(zhǔn)面為基礎(chǔ)，從而測定目標(biāo)點的橫向偏離值。要求高度時可用準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡。張緊的弦線也可用作基準(zhǔn)線，并用讀數(shù)顯微鏡測量設(shè)備部件距離基準(zhǔn)線的垂距。激光束也可作為基準(zhǔn)線，有時使激光束經(jīng)菲涅耳波帶板干涉形成光點或亮十字絲像，配合光電接收靶進行準(zhǔn)直測量，如果激光束在真空管道中傳輸，則波帶板準(zhǔn)直法精度可以達(dá)準(zhǔn)直長度的10的-7次方數(shù)量級。

 測量基準(zhǔn)是復(fù)現(xiàn)和保存計量單位并具有規(guī)定計量單位特性的計量器具。在幾何量計量領(lǐng)域內(nèi)，測量基準(zhǔn)可分為長度基準(zhǔn)和角度基準(zhǔn)兩類精密工程測量技術(shù)包括精密地直線定線、測量角度（或方向）、測量距離、測量高差以及設(shè)置穩(wěn)定的精密測量標(biāo)志。從測量方案設(shè)計、實地施測到成果處理和利用的各個階段中都要利用誤差理論進行分析。為減小測量不確定度，應(yīng)盡可能遵守以下基本測量原則：基準(zhǔn)統(tǒng)一原則，測量基準(zhǔn)要與加工基準(zhǔn)和使用基準(zhǔn)統(tǒng)一。即工序測量應(yīng)以工藝基準(zhǔn)作為測量基準(zhǔn)，終檢測量應(yīng)以設(shè)計基準(zhǔn)作為測量基準(zhǔn)。