24um線性膨脹，所以必須有±0。1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

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潔凈廠房“潔凈概念”的核心潔凈廠房“潔凈概念”的核心是控制塵埃。潔凈廠房從設(shè)計(jì)開始，到建筑、裝修，以及空氣凈化、氣流組織、人員凈化等要素都圍繞這個(gè)核心。潔凈廠房保潔也離不開這個(gè)核心。潔凈廠房保潔技術(shù)潔凈廠房的建設(shè)雖然對(duì)塵?？刂朴辛撕芨叩谋Ｕ?，但是，建筑裝修材料、設(shè)施設(shè)備、生產(chǎn)工藝、人員都會(huì)不同程度的發(fā)塵和塵埃積聚，尤其是10000級(jí)、100000級(jí)潔凈廠房(因建造成本限制)。

對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對(duì)空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對(duì)天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺(tái)車及重量的運(yùn)輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見地板磨損時(shí)，也就是使用期已太久，快破了，不僅會(huì)使得清靜度的降級(jí)，也會(huì)因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。