相對濕度在35%－40%之間能夠作為一個令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都運用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進(jìn)程，將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時，高濕度能夠使反響加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

控制潔凈室環(huán)境中的微生物含量仍然是靠良好的空氣凈化系統(tǒng)設(shè)施，其過濾效率可以達(dá)到99.9%～99.99%地濾除空氣中的細(xì)菌和塵埃。生產(chǎn)中潔凈室內(nèi)溫度嚴(yán)格控制在18～26℃、相對濕度控制在45%～65%，以破壞有利于細(xì)菌的生長條件，加之消毒液的清潔消毒，環(huán)境控制效果令人滿意。關(guān)于日常消毒液消毒，每天生產(chǎn)結(jié)束后，用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液擦拭機(jī)臺、桌面、門窗、墻壁等，用3%～5%的來蘇兒對地面擦拭消毒。每3天生產(chǎn)結(jié)束后，用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液對潔凈室內(nèi)所有設(shè)施表面及頂棚、照明等表面進(jìn)行擦拭消毒， 3%～5%的來蘇兒對地面進(jìn)行消毒，目的是因生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的細(xì)菌繁殖體，控制潔凈室內(nèi)微生物含量。這些措施僅能控制潔凈室內(nèi)空氣中的細(xì)菌量及雜類，如果霉菌較多，就要先用5%石碳酸噴灑室內(nèi)，然后用甲醛熏蒸才能達(dá)到無菌效果，而且只有這樣才能細(xì)菌、雜菌芽孢。每個生產(chǎn)周期結(jié)束，下個周期生產(chǎn)前對有無菌要求的潔凈室先進(jìn)行消毒液消毒，檢測潔凈室內(nèi)塵埃粒子數(shù)符合規(guī)定后，再對潔凈室內(nèi)進(jìn)行甲醛氣體熏蒸，從長期檢測的結(jié)果來看，這種環(huán)境滅菌方法效果很好。

實驗室里面的儀器設(shè)備該如何去除灰塵？精密儀器的除塵，塵埃多為帶有微量靜電的細(xì)小塵粒，常飄浮于空氣中，隨氣流而動，遇物便附著其上，幾乎無孔不入。塵埃附著在模型標(biāo)本上會影響其色澤，運動部件上有塵埃會增大磨損，電器上有塵埃，嚴(yán)重者會形成短路、漏電，貴重精密儀器上有塵埃，嚴(yán)重者會使儀器作廢。鏟除塵埃的辦法許多，首要應(yīng)依塵埃附著外表的情況及其塵埃附著的程度而定。在枯燥的空氣中，若塵埃較少或塵埃沒有受潮結(jié)成塊斑，可用干布拭擦，毛巾撣刷，軟毛刷刷等辦法，鏟除一般儀器上的塵埃；對儀器內(nèi)部的塵?？捎闷み蟆⑾炊蚴酱騫i筒吹氣除塵，也可用吸塵器吸塵；對角、縫中的塵埃可將上述幾種辦法結(jié)合起來除塵。

空氣凈化工程的作業(yè)原理是：用風(fēng)機(jī)將空氣抽入機(jī)器，經(jīng)過內(nèi)置的濾網(wǎng)過濾空氣，首要能夠起到過濾粉塵、異味、有毒氣體和殺滅有些細(xì)菌的作用。濾網(wǎng)又分：集塵濾網(wǎng)、去甲醛濾網(wǎng)、除臭濾網(wǎng)、HEPA濾網(wǎng)等。其間本錢比較高的即是HEPA濾網(wǎng)，它能起到分化有毒氣體和滅菌作用，格外是按捺二次污染。這類商品的特點是風(fēng)機(jī)功用以及濾網(wǎng)的質(zhì)量決定凈化作用，機(jī)器的放置以及室內(nèi)規(guī)劃影響凈化是不是徹底，室內(nèi)凈化作用不均衡，也難以徹底，濾網(wǎng)更換費用較高。