干泵：國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。

選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統配置。為達到很好的配置，選擇真空系統時，應考慮下述各點：首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍，必須認真研究確定之。

關于羅茨真空泵的性能特點

1、羅茨真空泵噪音低、風機進、排氣口采用螺旋形狀，使進、排風過程按螺旋線的方向循序切入，避免了舊式羅茨鼓風機排風時瞬間爆發(fā)的脈動噪音和振動。

2、啟動快，耗功少，運轉維護費用低，抽速大、效l率高，對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感

3、性能穩(wěn)定。羅茨鼓風機風機轉子、機殼、墻板、軸等關鍵零件，均采用先進的控加工設備，使零部件的互換性提高。

4、振動小。盡管轉子經過精密加工，已成平衡狀態(tài)，但仍采用高l精度的動平衡設備進行平衡。

5、絕熱效率和容積效l率高，因而節(jié)能。羅茨風機轉子采用先進的復合曲線，嚙合更加合理，并且增大了容積效率。

6、采用高l精度、高硬度的同步齒輪，不僅使羅茨真空泵的壽命得到延長，還有效降低了噪音。