淪分子泵是一套超高速、超真空的裝置，它的旋轉速度高達90000RPM（1500轉／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十億分之二個大氣壓），并且它設計緊湊，體積小，重量輕。主要有兩個系列：STP和EXT，主要區(qū)別是EXT系列的回轉軸承是陶瓷的，而STP系列的回轉軸承是用磁性材料制成的。先進的軸封技術，處理艙中不會出現油污染防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

五、羅茲泵

EDWARDS在全球早推出高抽速的羅茨泵，其抽氣率從240m3／h到4500m3／h，極限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽氣率，常串油式或干式泵使用

六、真空計

愛德華真空計測量范圍從2000-10-11mbar，內設先進的微處理器控制；

在真空泵機組定期一切換過程中，多次發(fā)生過類似異常。在備用真空泵機組啟動、原運行泵停運后。凝汽器真空便開始緩慢下降，約15~30min后可下降5~6kPa，在此過程中，發(fā)現氣水分離器內處于負壓狀態(tài)，這是一種異?，F象。好凱德真空科技分析認為，真空泵機組工作不正常，導致噴射器抽吸力降低，使得凝汽器真空下滑。iH干泵系列的峰值抽速從80到1800立方米/小時，其中iH1800干泵是專為高排量應用而設計的。