電子束簡介

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電子經(jīng)過匯集成束。具有高能量密度。它是利用電子槍中陰極所產(chǎn)生的電子在陰陽極間的高壓（25-300kV）加速電場作用下被加速至很高的速度（0.3-0.7倍光速），經(jīng)透鏡會聚作用后，形成密集的高速電子流。

電子束【釋義】：又稱電子注。在真空匯集成束。可采用靜電場聚焦,磁場聚焦等方法。電子顯微鏡和電視機就是利用電子束形成影像的。

電子束蒸發(fā)鍍膜機各部件介紹

1、烘烤照明系統(tǒng)1套。烘烤溫度：室溫-150℃。（在10-4Pa時，真空室內(nèi)殘余氣體的組合，水蒸汽約占 90%以上，因此在該壓強下進行蒸鍍，實際上相當于在水蒸汽中制膜，為了減少水份，提高真空室溫，使水分解，是提高膜層質(zhì)量的一種可行辦法）。

2、電控柜：標準電控柜，組裝總控制電源、真空系統(tǒng)控制（分子泵、機械泵電源、擋板等）、數(shù)顯真空計等。柜底下配腳輪，方便移動、定位。

3、手動按鈕式操作，備留機電轉(zhuǎn)換及控制接口，方便實驗記錄.

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電子束鍍膜機介紹

* 帶旋轉(zhuǎn)的傾斜沉積

* 行星式基片夾具

* 基片RF/DC偏壓

* 基片清洗的離子源以及離子輔助蒸鍍

* 附加物理沉積源（熱蒸鍍，磁控濺射）

* 用于反應蒸鍍的MFC

* 不同的泵組選擇，可升級分子泵為冷泵，前級泵為干泵

* 進樣室和自動上下片/可支持單片和25片片夾

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