有機無機蒸發(fā)鍍膜儀

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有機無機蒸發(fā)鍍膜儀采用直線式結(jié)構(gòu)，主要由二個有機材料生長室組成，兩個有機材料生長室之間通過閘板閥聯(lián)接，其中一個生長室系統(tǒng)預留與手套箱對接接口，能夠完成二套獨立的制備薄膜系統(tǒng)之間互相傳送基片。蒸發(fā)技術(shù)分為間歇蒸發(fā)與連續(xù)蒸發(fā)、直接電阻加熱蒸發(fā)和間接電阻加熱蒸發(fā),連續(xù)生產(chǎn)與制造厚膜時采用連續(xù)蒸發(fā)加熱。有機無機蒸發(fā)鍍膜儀的有機材料生長室主要由真空室腔體組件、有機蒸發(fā)源、熱阻蒸發(fā)舟、樣品傳遞裝置、樣品臺、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。