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發(fā)布時間:2021-01-20 11:01  

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廣州帕納光電科技有限公司----分子泵在加快時輸出功率很大,內(nèi)部發(fā)燙情況嚴(yán)重,經(jīng)常的起停(2次起動間距<三十分鐘)會導(dǎo)致發(fā)熱量積累,使分子泵內(nèi)部的溫度過高,加重滾動軸承損壞。愛德華STP-301磁懸浮分子泵維修;

廣州帕納光電科技有限公司----依據(jù)加工工藝標(biāo)準(zhǔn)挑選適度的制冷

分子泵的制冷方法有三種:當(dāng)然制冷、強(qiáng)制性風(fēng)冷和水冷。300l/s下列的分子泵,在沒有汽體負(fù)荷的狀況下,能夠選用當(dāng)然制冷;很大的分子泵或是有一定的汽體負(fù)荷時,必須挑選強(qiáng)制性風(fēng)冷式(散熱風(fēng)扇制冷);針對一些負(fù)荷非常大的運(yùn)用(例如CVD),或是不使用方便散熱風(fēng)扇的自然環(huán)境(如輻射源自然環(huán)境),必須采用水冷散熱。愛德華STP-301磁懸浮分子泵維修;


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羅次式增壓水泵

原理:根據(jù)髙速旋轉(zhuǎn)的電機(jī)轉(zhuǎn)子給與汽體分子動能,使其向髙壓方位航行,做到縮小汽體,將汽體排入空氣的目地。愛德華STP-301磁懸浮分子泵維修

結(jié)構(gòu):羅次式增壓水泵具備2個互相機(jī)械設(shè)備相互配合的電機(jī)轉(zhuǎn)子,兩電機(jī)轉(zhuǎn)子由電機(jī)驅(qū)動器,同歩反方向轉(zhuǎn)動。泵內(nèi)無潤滑液做為氣密性墊,故電機(jī)轉(zhuǎn)子能夠 髙速旋轉(zhuǎn),給與汽體分子結(jié)構(gòu)充足的機(jī)械能,并將其排入空氣中。因為電機(jī)轉(zhuǎn)子髙速旋轉(zhuǎn)時與汽體分子結(jié)構(gòu)磨擦熔點,因而必須冷卻循環(huán)水制冷。愛德華STP-301磁懸浮分子泵維修


當(dāng)M2(框架2)或M7的真空度自始至終沒有及時時,請查驗旋片泵的繼電器是不是一切正常工作中;開啟分子泵以前,務(wù)必先開啟冷卻循環(huán)水閥。分子泵的離心葉輪終止后,務(wù)必關(guān)掉冷卻循環(huán)水閥。愛德華STP-301磁懸浮分子泵維修

每一次關(guān)機(jī)后,務(wù)必清理每一個分子泵的通道,以維持其清理,以防止多余的毀壞;當(dāng)出現(xiàn)警示信息內(nèi)容“EF”時,查驗冷卻循環(huán)水安全通道是不是通暢,并且用重機(jī)槍開展查驗。在再度開啟分子泵以前,請保證 水道通暢。當(dāng)出現(xiàn)別的報警系統(tǒng)時,禁止再度起動分子泵開展后處理工藝。愛德華STP-301磁懸浮分子泵維修

這類泵的抽速范疇很廣,而且在9個f級中間具備穩(wěn)定的抽速。分子泵關(guān)鍵作為極高機(jī)械泵和高機(jī)械泵,但不可以立即排出來空氣,因而必須配置前端開發(fā)泵,其關(guān)鍵特性(如限工作壓力和抽速)與前端開發(fā)泵的抽供氣量,轉(zhuǎn)速和種類相關(guān)。愛德華STP-301磁懸浮分子泵維修

分子泵由泵身體的高頻電動機(jī)立即驅(qū)動器,渦輪轉(zhuǎn)子為一體式構(gòu)造。該泵對生物大分子汽體具備較高的發(fā)動機(jī)壓縮比,高頻電動機(jī)放置前面室內(nèi)空間,可得到 高真空泵和極高真空泵開展清理。其特性特性是:結(jié)構(gòu)緊湊,壓力范疇寬,抽速平穩(wěn)在10-1pa-10-7pa范疇內(nèi)。它運(yùn)作平穩(wěn)。因為選用了精密軸承,嚴(yán)苛的轉(zhuǎn)子動平衡全過程和一系列減震對策,該泵震動小,噪聲小,開機(jī)時間短,一般可在2min-15min內(nèi)做到全抽速。規(guī)范化的活套法蘭規(guī)格和垂直結(jié)構(gòu)使其便于與超濾裝置聯(lián)接。愛德華STP-301磁懸浮分子泵維修