中國空氣凈化技術(shù)起步于上世紀60年代引起關(guān)注并得到推廣和應(yīng)用

中國的空氣凈化技術(shù)起步于上世紀60年代、90年代引起關(guān)注并得到推廣和應(yīng)用。到今天,大大小小的空氣凈化工程公司如雨后春筍般遍地開花,技術(shù)力量參差不齊、魚目混珠。 潔凈手術(shù)部的建筑裝飾應(yīng)遵循不產(chǎn)塵、不積塵、耐腐蝕、防潮防霉、容易清潔和負荷防火要求的總原則。 潔凈手術(shù)部內(nèi)地面應(yīng)平整，采用耐磨、防滑、耐腐蝕、易清洗、不易起塵與不開裂的材料制作。有特殊要求的，可采用有特殊性能的涂料地面。

九十年代初至今,是國內(nèi)潔凈技術(shù)與國際全國接軌,走向規(guī)范化的時

潔凈技術(shù)在中國的發(fā)展 在中國，潔凈技術(shù)的起步和奠基階段是六十年代初至七十年代末。1965 年，由中國建筑科學(xué)研究院空氣調(diào)節(jié)研究所和蚌埠絕緣材料廠等單位研制完成帶波紋隔板的空氣過濾器通過鑒定，標(biāo)志了我國潔凈技術(shù)開始正式起步。同時，一此電子技術(shù)、精密機械和工業(yè)相關(guān)的設(shè)計院，也在探索、研究潔凈室的工程設(shè)計。1965年建成的沈陽119廠和石家莊13所就是由三機部四院（現(xiàn)航空工業(yè)部第四設(shè)計院）和四機部第二設(shè)計院（現(xiàn)中國電子工程設(shè)計院）分別參照原蘇聯(lián)的妝化等級設(shè)計建設(shè)的。到七十年代末至八十年代末，這十年間，中國的潔凈技術(shù)經(jīng)歷了一段陽光燦爛的發(fā)展階段，許多標(biāo)志性的重要成果，幾乎都誕生在這個階段，如標(biāo)準、規(guī)范制定與國際交往方面；生物潔凈室在方面陸續(xù)得到推廣應(yīng)用；在產(chǎn)品研制與開發(fā)方面達到八十年代國外的技術(shù)水平等等。九十年代初至今，是國內(nèi)潔凈技術(shù)與國際全國接軌，走向規(guī)范化的時代。隨著中國經(jīng)濟始終保持穩(wěn)定的高速增長，國際投資持續(xù)注入，一批跨國集團在中國陸續(xù)興建了眾多的微電子工廠因此國內(nèi)技術(shù)與研究人員有更多機會直接接觸國外別潔凈室的設(shè)計理念，了解世界的先進設(shè)備和裝置、管理與維護等等。從這方面來看，的確從各個角度與國際日益接軌。

潔凈技術(shù)方向發(fā)展空氣分子污染

潔凈技術(shù)方向發(fā)展 空氣分子污染（Airborne Molecular Contaminants，AMC）作為IC工廠所關(guān)心的問題于20年前由日本人提出，近年來，世界IC技術(shù)發(fā)展迅速，IC芯片日益微型化。AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只需要確定粒徑及個數(shù)，但對AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料（化學(xué)品、特種氣體等）在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此，IC生產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中，AMC已成為嚴重影響成品率的重要問題，AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計與施工建設(shè)的主流趨勢。目前，國內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究，在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成，在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列，而中國電子工程設(shè)計院則在防微震方面。

凈化車間工程可分為空氣凈化與水凈化

凈化車間工程可分為空氣凈化與水凈化，空氣凈化是在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化工程所特別設(shè)計的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。