無塵車間潔凈室管理制度

1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項(xiàng)目的成功，現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對(duì)于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內(nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對(duì)一期主廠房內(nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。

實(shí)力公司用案例說話，全國各地竣工潔凈、凈化、無塵車間、廠房工程眾多，免費(fèi)咨詢、設(shè)計(jì)，可就近安排去感興趣的工程項(xiàng)目實(shí)地參觀考察

無塵室內(nèi)生產(chǎn)制造設(shè)備應(yīng)注意的重點(diǎn)

1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：

a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。

b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。

c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。

d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。

e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無塵室外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。

f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。

g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。

h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。

i.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。

j.對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出無塵室之各項(xiàng)規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。

k.應(yīng)有無塵室工具組，但不得帶出無塵室外使用。

l.規(guī)劃空間時(shí)若能臨近無塵室設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置放室，將是一理想之規(guī)劃。

無塵廠房如何施工？

1、在安裝過程中，除常規(guī)安裝工藝外，必須著重要考慮施工對(duì)象和施工環(huán)境的潔凈、衛(wèi)生、美觀，無塵廠房施工工藝必須符合GMP認(rèn)證的要求。

2、無塵凈化工程在施工安裝過程中，各專業(yè)交叉配合作業(yè)量大，工序之間相互銜接要求高，因此，在施工時(shí)，必須制訂出詳盡的施工協(xié)作計(jì)劃，嚴(yán)格按照施工程序施工，保證環(huán)境潔凈、衛(wèi)生。

3、無塵凈化工程對(duì)安裝施工機(jī)械設(shè)備的選樣、材料的采用、安裝技術(shù)操作要求較高；工藝設(shè)備制造精良，并且呈體積小，重量輕的趨勢(shì)，且較多設(shè)備采用不銹鋼制造；采用的材料品種規(guī)格數(shù)量繁多，工藝管道材質(zhì)采用不銹鋼較多，其焊接工作有很強(qiáng)的技術(shù)性。

4、無塵凈化工程的管道安裝配管時(shí)一定要考慮其美觀，盡量靠墻布置。在施工中一定要注意協(xié)調(diào)好各工種相互間的關(guān)系，確定施工順序，做到互不干擾，確保管道安裝的標(biāo)高、坡度，便于今后維修的原則。

ffu是無塵室車間需要配置的設(shè)備之一，可是當(dāng)購買了ffu以后，有部分用戶不知道ffu該如何使用，又該如何保養(yǎng)？為了幫住大家對(duì)ffu有一個(gè)詳細(xì)的了解，在這跟大家介紹ffu的正確使用及其保養(yǎng)方法。

ffu的正確使用方法：ffu在使用前，要被紫外燈照射30分鐘，并且要確認(rèn)ffu操作區(qū)周圍門窗處于工作時(shí)位置。0m/s范圍內(nèi)，阻力與風(fēng)量不再是線性關(guān)系，而是一條上揚(yáng)的弧線，風(fēng)量增加30%，阻力可能會(huì)增加50%，若過濾器阻力對(duì)你來說是個(gè)非常重要的參數(shù)，你就要向過濾器供應(yīng)商索要阻力曲線。合景凈化建議ffu要在操作區(qū)的中心位置工作，因?yàn)檫@是一個(gè)比較安全的區(qū)域。在操作前，要了解ffu的操作流程及其安全等級(jí)，要嚴(yán)格的執(zhí)行操作流程。

ffu的的保養(yǎng)方法：要保養(yǎng)ffu首先就要保持室內(nèi)的干燥和清潔，并對(duì)ffu進(jìn)行定期的清潔，這樣不但是ffu正常使用的重要環(huán)節(jié)，并且還能延長ffu的使用壽命。風(fēng)機(jī)、電機(jī)，選用高壓低噪的小型風(fēng)機(jī)，風(fēng)機(jī)與箱體的連接采用軟連接，電機(jī)及風(fēng)機(jī)均應(yīng)采取減振措施。定期對(duì)ffu清潔包括使用前后的例行清潔和定期的熏蒸處理。定期的熏蒸處理時(shí)，要將ffu所有縫隙完全密封。