長方形一體成型腔室

超高真空(UHV)是一門精密技術(shù)的藝術(shù)，各種鍍膜、檢測分析、量測、及其他實驗皆可根據(jù)需求整合在一個或多個的超高真空(UHV)腔體(箱體)，或以超高真空傳輸系統(tǒng)進行鏈接，Htc日揚真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經(jīng)驗及技術(shù)。我們根據(jù)不同的實驗需求對超高真空(UHV)腔體(箱體)進行精密的設(shè)計，能滿足配合客戶實驗上的各種質(zhì)量及性能要求。

1. 腔體常規(guī)材質(zhì)：不銹鋼304，可定制不銹鋼316、316L腔體；

2. 腔體可根據(jù)需求設(shè)有快開進樣門，鉸鏈機構(gòu)，移動靈活，快開門密封件材質(zhì)采用氟橡膠；

3. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶需求定制；

4. 腔室內(nèi)外徹底超聲波清洗，表面清潔；

5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;

6. 配合適的真空系統(tǒng)，真空度可進入10-6Pa；

7. 供貨周期：確認(rèn)方案后5到6周；

以下是沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您一起分享的內(nèi)容，沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)長方形一體成型腔室產(chǎn)品，歡迎新老客戶蒞臨。

真空腔體焊接制造工藝中需要掌握的技術(shù)要求

焊縫是真空制造工藝中容易產(chǎn)生漏孔的區(qū)域之一，常見的焊縫外觀缺陷及其它缺陷，如未熔合、未焊透、夾渣、氣孔、裂紋及內(nèi)應(yīng)力都是超高真空系統(tǒng)中的漏孔或者虛漏源的隱患。為了大程度地減少焊縫缺陷，便于檢測，超高真空要求焊接的零部件使焊縫盡量處在真空側(cè)，大氣側(cè)焊縫僅作為間斷加強焊縫，同時使大數(shù)量的焊縫能在制造階段分別測試，在終裝配前給予矯正。由于一些零部件的截面尺寸小，內(nèi)壁施焊受到限制，某些部位只能采用大氣側(cè)焊縫，焊縫應(yīng)一次焊好，以避免兩次焊接時造成有害空間，那么真空腔體必須保證單面焊雙面成型的效果優(yōu)良。

另外還應(yīng)該指出，由于壓差、振動和熱循環(huán)等原因在接頭內(nèi)產(chǎn)生的應(yīng)力和應(yīng)變，可能會使含有缺陷的焊縫產(chǎn)生裂紋從而使焊縫受損，或者在使用過程中焊縫受腐蝕，這樣就可能形成漏點。

因而所采用的焊接方法必須在這些條件下能使焊縫的漏率滿足技術(shù)要求。

真空腔體的焊接原則

超高真空腔體的弧焊接，原則上必須采用內(nèi)焊，即焊接面是在真空一側(cè)，以免存在死角而發(fā)生虛漏。

真空腔體的內(nèi)壁表面吸附大量的氣體分子或其他有機物，成為影響真空度的放氣源。為實現(xiàn)超高真空，要對腔體進行150——250℃的高溫烘烤，以促使材料表面和內(nèi)部的氣體盡快放出。烘烤方式有在腔體外壁纏繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳篷中。比較經(jīng)濟簡單的烘烤方法是使用加熱帶，加熱帶的外面再用鋁箔包裹，防止熱量散失的同時也可使腔體均勻受熱。

真空腔體中抽氣管道的設(shè)計原則

為一個工藝選擇真空泵時，工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達到大，需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。

看起來似乎很簡單，但是這里有許多因素需要考慮。實際上，如果我們從物理學(xué)角度考慮，就可以明確哪些是關(guān)鍵因素。真空腔體

在穩(wěn)定狀態(tài)的條件下，如果抽氣管道內(nèi)沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝)，抽氣管道任何截面的質(zhì)量流量必須相同。簡單而言，進入工藝室的氣體必須從泵出來。

已知氣體摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、溫度為T(開爾文)，則質(zhì)量流量計算如下：

質(zhì)量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)

Ro=通用氣體常數(shù)

對于大多數(shù)抽氣系統(tǒng)而言，氣體溫度(T)在抽氣管道中不會顯著減少，而且可以合理地假定為恒定的。

在此情況下，抽氣管道任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體

由于抽氣管道的壓力差是氣體流動的推動力，可見壓力(P)必須在工藝室中為高值，在泵入口為低值。

由于我們假定通量恒定，可見抽氣速率(S)在工藝室為小值，在泵入口為大值(等于泵速)。