Parylene氣相沉積涂敷工藝

　 在微電子領(lǐng)域，近些年P(guān)arylene應(yīng)用發(fā)展較快，真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細(xì)尺寸的涂層，而且該涂層可用微電子的加工工藝進(jìn)行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外，在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數(shù)材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene，更被國外集成電路研究者所青睞，用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質(zhì)。 　　 　　Parylene氣相沉積涂敷工藝涂敷時，在工作上有很強(qiáng)的滲透性，能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細(xì)孔中，真正形成完全敷形，均勻一致的防護(hù)涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒有溶劑、助劑，即使在0.1微米厚也沒有，氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜，沒有通常涂層的固化過程和固化引起的收縮應(yīng)力，對工件能進(jìn)行表面加固，但不會引起傷害，也沒有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。

Parylene涂層和熱膨脹系數(shù)有什么區(qū)別?

Parylene的用量非常小，這樣涂層和基材之間的熱膨脹系數(shù)就不會有很大差別,幾乎不存在任何膨脹/收縮及變形等. 傳統(tǒng)的噴涂、浸漬或刷涂的液體涂層可能會適用于某些線圈繞組，但是這些材料有許多隱患。例如，固化液體涂層的厚度取決于它們?nèi)軇┑臐舛?，彎月面和表面張力也會將涂層從尖銳的棱角邊緣劃落下來，在未完全固化前就聚集在角落里。液體涂敷的平均固化厚度一般在0.005至0.010英寸之間。在平整表面，涂層厚度可能需要有0.005英寸或更厚，只有這樣外部角落里、尖銳棱角和邊緣處的液體涂層的厚度才能達(dá)到0.001尺寸。有些時候，基材與涂層的熱膨脹系數(shù)會有所不同，導(dǎo)致在溫度變化周期內(nèi)產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力。涂層越厚或溫度越高，這樣情況就會越嚴(yán)重。

派瑞林材料核心的優(yōu)勢是什么？

那還得從機(jī)理來說，派瑞林有機(jī)涂層是通過活性單體氣相沉積聚合制備的，單體的氣相沉積與涂層的形成是同時進(jìn)行，沒有中間的液體過渡態(tài)。因此，正如其開發(fā)公司美國Union Carbide Co.宣傳的一般，派瑞林涂層擁有0.1-100微米的超薄均勻的涂覆能力和有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性，是當(dāng)代有效的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。

        美國化學(xué)家Michael Szwarc在實(shí)驗室合成了parylene薄膜，18年后的1965年科學(xué)家William F. Gorham發(fā)明了化學(xué)氣相沉積合成parylene膜的方法，并通過商業(yè)化parylene沉積設(shè)備使parylene膜獲得了實(shí)用價值，從此Parylene開始蓬勃發(fā)展起來。

        Parylene的原理是用獨(dú)  特的真空氣相沉積工藝（CVD技術(shù)）制備，由活性小分子在基材表面"生長"出完全敷形的聚合物薄膜涂層，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號稱"無孔不入"可深入裂縫里和內(nèi)表面。這個家庭中基本的成員稱作Parylene,即聚對二，是一種完全線性的高度結(jié)晶結(jié)構(gòu)的材料。