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發(fā)布時(shí)間:2021-10-17 04:42  
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LCD市場(chǎng)助力
全球LCD面板總出貨面積增長(zhǎng),LCD光刻膠需求增加。據(jù)WitsView數(shù)據(jù),雖然近三年國(guó)際LCD廠商面板出貨量有所下降,但是由于大屏顯示的市場(chǎng)擴(kuò)增,LCD整體出貨面積變大,2016年出貨總面積達(dá)到1.7億平方米,同比增長(zhǎng)4.6%。隨著LCD出貨面積的持續(xù)增長(zhǎng),中國(guó)產(chǎn)業(yè)信息網(wǎng)預(yù)測(cè),未來(lái)幾年全球LCD光刻膠的需求量增長(zhǎng)速度為4%~6%。過(guò)去由于我國(guó)在開始規(guī)劃發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)上,布局不合理、不完整,特別是生產(chǎn)加工環(huán)節(jié)的投資,而忽視了重要的基礎(chǔ)材料、裝備與應(yīng)用研究。隨著國(guó)內(nèi)廠商占據(jù)LCD市場(chǎng)比重越來(lái)越大,國(guó)內(nèi)LCD光刻膠需求也會(huì)持續(xù)增長(zhǎng)。
NR9-3000PYNR94 8000PY光刻膠報(bào)價(jià)
四、前烘(Soft Bake)
完成光刻膠的涂抹之后,需要進(jìn)行軟烘干操作,這一步驟也被稱為前烘。前烘能夠蒸發(fā)光刻膠中的溶劑溶劑、能使涂覆的光刻膠更薄。
在液態(tài)的光刻膠中,溶劑成分占65%-85%。雖然在甩膠之后,液態(tài)的光刻膠已經(jīng)成為固態(tài)的薄膜,但仍有10%-30%的溶劑,容易沾污灰塵。通過(guò)在較高溫度下進(jìn)行烘培,可以使溶劑從光刻膠中揮發(fā)出來(lái)(前烘后溶劑含量降至5%左右),從而降低了灰塵的沾污。相對(duì)于其他的光刻膠,PR1-2000A1有如下的一些額外的優(yōu)勢(shì):PEB,不需要后烘的步驟。同時(shí),這一步驟還可以減輕因高速旋轉(zhuǎn)形成的薄膜應(yīng)力,從而提高光刻膠 襯底上的附著性。
在前烘過(guò)程中,由于溶劑揮發(fā),光刻膠厚度也會(huì)減薄,一般減薄的幅度為10%-20%左右。
五、曝光
在這一步中,將使用特定波長(zhǎng)的光對(duì)覆蓋襯底的光刻膠進(jìn)行選擇性地照射。光刻膠中的感光劑會(huì)發(fā)生光化學(xué)反應(yīng),從而使正光刻膠被照射區(qū)域(感光區(qū)域)、負(fù)光刻膠未被照射的區(qū)域(非感光區(qū))化學(xué)成分發(fā)生變化。從對(duì)準(zhǔn)原理上及標(biāo)記結(jié)構(gòu)分類,對(duì)準(zhǔn)技術(shù)從早期的投影光刻中的幾何成像對(duì)準(zhǔn)方式,包括視頻圖像對(duì)準(zhǔn)、雙目顯微鏡對(duì)準(zhǔn)等,一直到后來(lái)的波帶片對(duì)準(zhǔn)方式、干涉強(qiáng)度對(duì)準(zhǔn)、激光外差干涉以及莫爾條紋對(duì)準(zhǔn)方式。這些化學(xué)成分發(fā)生變化的區(qū)域,在下一步的能夠溶解于特定的顯影液中。
在接受光照后,正性光刻膠中的感光劑DQ會(huì)發(fā)生光化學(xué)反應(yīng),變?yōu)橐蚁┩?,并進(jìn)一步水解為茚并羧酸(Indene-Carboxylic-Acid, CA),羧酸在堿性溶劑中的溶解度比未感光部分的光刻膠高出約100倍,產(chǎn)生的羧酸同時(shí)還會(huì)促進(jìn)酚醛樹脂的溶解。利用感光與未感光光刻膠對(duì)堿性溶劑的不同溶解度,就可以進(jìn)行掩膜圖形的轉(zhuǎn)移。A有一種膠很適合,美國(guó)Futurrex生產(chǎn)的NR1-3000PYand和NR1-6000PY,都適合在OLED制程中做spacers。
曝光方法:
a、接觸式曝光(Contact Printing)掩膜板直接與光刻膠層接觸。
b、接近式曝光(Proximity Printing)掩膜板與光刻膠層的略微分開,大約為10~50μm。
c、投影式曝光(Projection Printing)。在掩膜板與光刻膠之間使用透鏡聚集光實(shí)現(xiàn)曝光。
d、步進(jìn)式曝光(Stepper)
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光刻膠存儲(chǔ)條件及操作防護(hù)
光刻膠是一種可燃液體,儲(chǔ)存條件應(yīng)符合對(duì)應(yīng)的法規(guī),不要與強(qiáng)氧化劑混合,存放在通風(fēng)良好的地方,保持容器密閉,避免吸入蒸汽或霧氣,避免接觸眼睛、皮膚或衣服,操作后徹底清洗。
個(gè)人防護(hù)
眼睛:佩戴化學(xué)飛濺護(hù)目鏡。
皮膚:戴上適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)手套防止皮膚暴露。
服裝:穿戴合適的防護(hù)服防止皮膚暴露。
呼吸器:無(wú)論何時(shí)在工作環(huán)境下呼吸保護(hù)必須遵循中國(guó)職業(yè)安全健康管理局標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定和ANSI美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)Z88.2的相關(guān)要求,或必須執(zhí)行歐洲呼吸防護(hù)EN 149的標(biāo)準(zhǔn)。