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發(fā)布時間:2021-08-03 20:13  

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愛德華NXT240D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結合使用的復合分子泵,有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口,對N2的抽速為240l/s。nEXT泵采用愛德華成熟的軸承技術,上軸承為磁懸浮軸承,下軸承為油潤滑陶瓷軸承,并改進轉子設計,使其更加有效地實現分子拖曳行程,終提高抽速和壓縮比,同時真正實現了用戶自行維護。它們采用24V到48V直流無傳感器電機,內置驅動,與愛德華的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種預設功率可選,前者可使用100W TIC控制器,適用于抽氣,但在該功率下達到滿轉速的加速時間較長。我們還提供為半導體設備制造商高度專業(yè)化的解決方案,通過優(yōu)化過程監(jiān)控、分析和控制,幫助他們提高生產量,延長工具正常作業(yè)時間。


基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。