實驗室里面的儀器設備該如何去除灰塵？精密儀器的除塵，塵埃多為帶有微量靜電的細小塵粒，常飄浮于空氣中，隨氣流而動，遇物便附著其上，幾乎無孔不入。塵埃附著在模型標本上會影響其色澤，運動部件上有塵埃會增大磨損，電器上有塵埃，嚴重者會形成短路、漏電，貴重精密儀器上有塵埃，嚴重者會使儀器作廢。鏟除塵埃的辦法許多，首要應依塵埃附著外表的情況及其塵埃附著的程度而定。在枯燥的空氣中，若塵埃較少或塵埃沒有受潮結成塊斑，可用干布拭擦，毛巾撣刷，軟毛刷刷等辦法，鏟除一般儀器上的塵埃；對儀器內部的塵?？捎闷み蟆⑾炊蚴酱騫i筒吹氣除塵，也可用吸塵器吸塵；對角、縫中的塵?？蓪⑸鲜鰩追N辦法結合起來除塵。

凈化工程車間的防靜電處理,1.使用離子風槍、離子頭、離子棒等設施，使在一定范圍內防止靜電產生。2.半導體器件應盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中，這種防靜電盛放器有良好導電性能，能有效防止靜電的產生。當然，有條件的應盛放在金屬盛放器內或用金屬箔包裝。3.對于操作人員應在手腕上帶防靜電手帶，這種手帶應有良好的接地性能，這種措施極為有效。

凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據您的加工技術請求來斷定，在滿意加工技術的條件下，必選應當思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請求的進步，技術對溫濕度的請求也越來越高，有必要到達必定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光技術中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導致了0.24um線性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請求濕度值通常較低，因為人出汗今后，對商品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超越25度。