什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。通常流體密度變化小，可以認(rèn)為流速與流體質(zhì)量流量正比，因此流速的補(bǔ)償可以轉(zhuǎn)化為流量變化的非線性因素進(jìn)行補(bǔ)償。

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質(zhì)量流量計(jì)工作原理

質(zhì)量流量計(jì)是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質(zhì)量多少從而來測量流量，因?yàn)槭怯酶袩崾綔y量，所以不會(huì)因?yàn)闅怏w溫度、壓力的變化從而影響到測量的結(jié)果。質(zhì)量流量計(jì)是一個(gè)較為準(zhǔn)確、快速、可靠、穩(wěn)定、靈活的流量測量儀表，在石油加工、化工等領(lǐng)域?qū)⒌玫礁訌V泛的應(yīng)用，相信將在推動(dòng)流量測量上顯示出巨大的潛力。質(zhì)量流量計(jì)是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質(zhì)量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，質(zhì)量流量控制器，是可以檢測同時(shí)又可以進(jìn)行控制的儀表。質(zhì)量流量控制器本身除了測量部分，還帶有-個(gè)電磁調(diào)節(jié)閥或者壓電閥，這樣質(zhì)量流量控制本身構(gòu)成-個(gè)閉環(huán)系統(tǒng)，用于控制流體的質(zhì)量流量。一、在使用質(zhì)量流量計(jì)的時(shí)候需要防止人為的斷電以及拆線，因?yàn)椴扇嚯娨约安鹦盘?hào)線的方法會(huì)使得設(shè)備短時(shí)間不計(jì)量還會(huì)導(dǎo)致計(jì)量糾紛。質(zhì)量流量控制器的設(shè)定值可以通過模擬電壓、模擬電流，或者計(jì)算機(jī)、PLC 提供。

流量控制器的性能參數(shù)

流量控制器的特點(diǎn)是：當(dāng)自力式流量控制閥進(jìn)口、出口壓差變化時(shí)，通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。

流量控制器的性能參數(shù)有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動(dòng)壓差。

流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的誤差，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中的誤差要求小于等于8％，A類產(chǎn)品的誤差小于等于5％。流量控制精度的高低取決于流量控制器的設(shè)計(jì)、加工和材質(zhì)。

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