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分子泵的抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同，利用了動量傳遞原理，使分子定向流動而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的?！　》肿颖迷陔姍C(jī)的帶動下高速旋轉(zhuǎn)，采用變頻電源驅(qū)動電機(jī)，目的是得到較高的轉(zhuǎn)速。

分子泵是一種真空泵，它使用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將動量傳遞到氣體分子以獲得方向速度，從而將其壓縮并驅(qū)動到上一級的排氣口。

維護(hù)分子泵的操作要求：

1.分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏；

2.分子泵不能在大氣中打開，必須在達(dá)到10Pa時打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動分子泵；

震動防護(hù)、沖擊性安全防護(hù)

①、分子泵震動很小，可立即接于被抽系統(tǒng)軟件。針對高儀器儀表的運(yùn)用（如透射電鏡），提議應(yīng)用隔振器，便于較大 很有可能的降低震動。

②、沖擊性安全防護(hù)：高速運(yùn)轉(zhuǎn)、空隙不大、軟性支撐點(diǎn)

阻尼振動（預(yù)抽泵、前面泵、機(jī)械設(shè)備姿勢等）

汽體震動（供氣量突然變化、氣體壓強(qiáng)突然變化）

出現(xiàn)意外震動（落入臟東西、撞擊等）

留意：沒有對泵開展必需安全防護(hù)，非常容易導(dǎo)致分子泵比較嚴(yán)重的毀壞、乃至碎泵。安捷倫渦輪分子泵維修公司

空氣載、熱汽體、突然變化氣載

a造成難題：溫度上升；聲響片形變；電機(jī)轉(zhuǎn)子移位；潤化無效5℃標(biāo)準(zhǔn)；滾動軸承無效

b.對策：增加水冷散熱；提升制冷設(shè)備；減少換機(jī)油時間。安捷倫渦輪分子泵維修公司