在電子元件制品的制造過(guò)程中，微粒子污染對(duì)成品率有重大影響，故應(yīng)在過(guò)程中嚴(yán)格控制微粒子的數(shù)量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲(chǔ)備、除去”四項(xiàng)基本原則以防止微粒子污染。

　 無(wú)塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用的過(guò)濾器即可容易達(dá)到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

    潔凈室吸塵器是無(wú)塵廠(chǎng)房、車(chē)間專(zhuān)用的強(qiáng)力真空專(zhuān)用吸塵器，可迅速、便捷、地完成清潔工作。特點(diǎn)：超高過(guò)濾效果，可有效的除去對(duì)呼吸氣管造成過(guò)敏的有害粉塵，減少呼吸疾病的發(fā)生。當(dāng)你使用專(zhuān)用吸塵器時(shí)，可以減少您清潔廠(chǎng)房的次數(shù)，因?yàn)樗粫?huì)二次擴(kuò)散灰塵，并可凈化室內(nèi)空氣。有完備的各類(lèi)吸嘴，任何角落皆可輕松清潔干凈。較強(qiáng)的吸力可吸除更深層的粉塵。設(shè)計(jì)新穎輕巧，符合人體工學(xué)，操作時(shí)不會(huì)腰酸背痛,減少人體不適。專(zhuān)用吸塵器可專(zhuān)門(mén)針對(duì)防塵爆及有毒粉塵，如石棉，鉛等物質(zhì)，美國(guó)太空總署特別使用專(zhuān)用專(zhuān)用吸塵器清除貨倉(cāng)內(nèi)的微細(xì)粉塵。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源消耗。

   潔凈室（無(wú)塵室）吸塵器的主要組成：

   大扒頭：當(dāng)清掃地面面積較大時(shí)，使用大扒頭可有效快速的提高工作效率。

   小扒頭：清掃面積相對(duì)較小時(shí)，小扒頭可方便快捷的掃除工作臺(tái)底部的灰塵和顆粒。

   圓毛刷：工作范圍主要集中在工作臺(tái)臺(tái)面，清楚工作臺(tái)面細(xì)微的小顆粒

   伸縮桿：增大清掃范圍領(lǐng)域。

   軟管：機(jī)器正常工作時(shí)，吸收的小顆粒，灰塵，雜物，經(jīng)過(guò)吸口有軟管傳遞到過(guò)濾系統(tǒng)。

   集塵袋：潔凈室吸塵器的過(guò)濾系統(tǒng)，也是為重要的環(huán)節(jié)，收集人眼能分辨的小顆粒，對(duì)保護(hù)馬達(dá)和過(guò)濾器有重要作用。

   電源開(kāi)關(guān)：控制吸塵器的啟動(dòng)和關(guān)閉。

   過(guò)濾器：過(guò)濾器是吸塵器的第四大過(guò)濾系統(tǒng)，也是后一個(gè)環(huán)節(jié)，過(guò)濾器能過(guò)濾0.012um的小顆粒，過(guò)濾之后的空氣達(dá)到100級(jí)以上。