光波超精密——石墨氣浮導(dǎo)軌廠家

該微結(jié)構(gòu)能有效地應(yīng)用于超精密機(jī)床的動(dòng)靜導(dǎo)軌表面，可有效地降低氣浮導(dǎo)軌間隙內(nèi)高速氣體的流動(dòng)阻力，提高機(jī)床定位精度和系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)速度。以計(jì)算流體動(dòng)力學(xué)方法(CFD)為基礎(chǔ)(Computational fluid dynamics, CFD)，應(yīng)用雷諾平均方程和帶旋流修正的k-：湍流模型，建立了導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)表面流體動(dòng)力減阻分析模型，并結(jié)合流場(chǎng)分析和阻力分析，尋找符合氣浮導(dǎo)軌功能要求的微結(jié)構(gòu)表面。本文研究了導(dǎo)軌表面微溝槽的形狀和幾何特征參數(shù)對(duì)減阻效果的影響規(guī)律，并通過(guò)識(shí)別各種因素對(duì)減阻效果的影響規(guī)律，分析了矩形、 V形、 U形、 V形、Space-V形等四種微結(jié)構(gòu)表面形態(tài)，確定了z適ui合超精密機(jī)床氣浮導(dǎo)軌減阻要求的微溝槽形狀。然后，通過(guò)研究導(dǎo)軌氣浮表面微結(jié)構(gòu)減阻功能表面的幾何特性(構(gòu)型、尺寸、形狀、位置等)對(duì)減阻的影響規(guī)律，對(duì)氣浮導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)功能表面的參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——石墨氣浮導(dǎo)軌廠家

氣浮式導(dǎo)軌利用空氣的粘性，把外壓縮空氣通過(guò)節(jié)流器引入導(dǎo)軌和滑塊之間的間隙，形成具有超高剛度的氣膜間隙，使負(fù)載得以平穩(wěn)運(yùn)行i。

氣浮式導(dǎo)軌電子制造設(shè)備工業(yè)中超精密測(cè)量和實(shí)驗(yàn)室測(cè)量，如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米和亞微米工業(yè)磨擦系數(shù)接近零，永i不磨損。

持久的精i確度，出廠精i確度即永i久精i確度

導(dǎo)向器永i不磨損，因此不存在售后問(wèn)題，無(wú)需返修，更不用全套更換。

精i確度永不丟失，導(dǎo)軌無(wú)需人工校正，補(bǔ)償。

計(jì)量準(zhǔn)確。由于氣膜剛度大、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、振幅小、振動(dòng)頻率接近，所以可以完全避免和消除高精度測(cè)量中振動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響，摩擦力小，低速運(yùn)動(dòng)不會(huì)產(chǎn)生爬行抖動(dòng)現(xiàn)象。隨動(dòng)電機(jī)快速性好，適應(yīng)頻繁啟停測(cè)試要求

光波超精密技術(shù)研究院——石墨氣浮導(dǎo)軌廠家

在兩個(gè)互相運(yùn)動(dòng)的平面之間有一個(gè)空隙 h (通常是幾個(gè)微米到幾十個(gè)微米)，被支撐件的下平面上有一個(gè)面積一定的氣腔(氣腔直徑為 d)，氣體通過(guò)節(jié)流器(節(jié)流器直徑為 d)進(jìn)入氣腔，這樣被支撐件①就在氣壓作用下，被支撐件②就在支撐件②上滑動(dòng)，使被支撐件①在氣缸中形成氣浮支撐.當(dāng)高壓氣體處于一定壓力下時(shí)，氣浮支撐件①就在氣浮中形成。進(jìn)氣腔通過(guò)節(jié)流器流動(dòng)時(shí)，壓力下降到 P。當(dāng)氣腔和間隙兩部分所占的面積需要合理設(shè)計(jì)時(shí)，系統(tǒng)就可以使間隙基本保持恒定，并使之處于力平衡狀態(tài).但是當(dāng)外加載 F突然增大時(shí)，間隙就會(huì)立即減小.因?yàn)榱鹘?jīng)間隙的流量與外加載 F成正比，流速就會(huì)大大降低，從而使外加載 F自動(dòng)增大.

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——石墨氣浮導(dǎo)軌廠家

氣浮導(dǎo)軌z大ui的不同之處就是我們把滑軌和滑塊結(jié)合起來(lái)的獨(dú)特機(jī)制。利用真空復(fù)i制使載體臺(tái)架在導(dǎo)軌上，消除了振動(dòng)和諧波噪聲。極i好的穩(wěn)定性、平直性和剛度由此得到保證，保證了每一次實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位。

使用空氣可大大減少運(yùn)行時(shí)的維護(hù)情況。不但不需要進(jìn)行繁重的潤(rùn)滑要求，而且污染和除氣問(wèn)題也已經(jīng)過(guò)時(shí)。

與納米級(jí)精i確度相比，高速操作可同時(shí)提高產(chǎn)量和質(zhì)量，與傳統(tǒng)潤(rùn)滑油相比，空氣處理可解決污染和除氣問(wèn)題，是潔凈室操作的理想選擇采用多孔介質(zhì)技術(shù)，使空氣分布均勻，不但具有亞納米級(jí)的精度，而且具有內(nèi)在的防撞設(shè)計(jì)，以zui大程度地減少潛在損壞，減少維修停機(jī)時(shí)間，提高操作效率

氣體靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件和支撐部件通過(guò)氣膜彼此隔離，當(dāng)壓縮空氣靜壓導(dǎo)軌和支撐表面之間的空隙中排出時(shí)就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個(gè)。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過(guò)節(jié)流器進(jìn)入氣腔，沿封氣朝向外流動(dòng)，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處，氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺(tái)浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態(tài)，從而產(chǎn)生氣體摩擦。負(fù)荷增大時(shí)，氣膜厚度降低，而負(fù)荷增大時(shí)，氣膜厚度增加；氣膜既起承壓作用，又起潤(rùn)滑作用。

空氣靜壓導(dǎo)軌是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)測(cè)量的重要組成部分。早期研制的三坐標(biāo)摩擦導(dǎo)軌，大多采用滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌，因其摩擦阻力大，較易磨損，靜、動(dòng)摩擦系數(shù)差異較大，且在低速時(shí)容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，已不能滿(mǎn)足測(cè)量精度和速度的不斷提高，因而逐漸用空氣靜壓導(dǎo)軌代替滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌。風(fēng)壓式導(dǎo)軌摩擦系數(shù)小，運(yùn)行平穩(wěn)，運(yùn)動(dòng)精度高，磨損小，是目前三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中使用zui廣泛的一種導(dǎo)軌形式。

空氣靜壓導(dǎo)軌的工作原理空氣靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件和承載部件通過(guò)氣膜相互隔離，氣膜是在壓縮空氣從氣浮器和承導(dǎo)面之間的空隙排放出來(lái)的。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個(gè)。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過(guò)節(jié)流器進(jìn)入氣腔，沿封氣朝向外流動(dòng)，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。

直線(xiàn)導(dǎo)軌又稱(chēng)線(xiàn)軌、滑軌、線(xiàn)性導(dǎo)軌、線(xiàn)性滑軌，用于直線(xiàn)往復(fù)運(yùn)動(dòng)場(chǎng)合，且可以承擔(dān)一定的扭矩，可在高負(fù)載的情況下實(shí)現(xiàn)高精度的直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)。直線(xiàn)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的作用是用來(lái)支撐和引導(dǎo)運(yùn)動(dòng)部件，按給定的方向做往復(fù)直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)。直線(xiàn)導(dǎo)軌已經(jīng)越來(lái)越廣泛地被應(yīng)用在數(shù)控機(jī)床、數(shù)控加工中心、精密電子機(jī)械、自動(dòng)化設(shè)備等行業(yè)。

通常，直線(xiàn)導(dǎo)軌的選用必須根據(jù)使用條件、負(fù)載能力、和預(yù)期壽命選用。所謂使用條件主要是指應(yīng)用何種設(shè)備、精度要求、剛性要求、負(fù)荷方式、行程、運(yùn)行速度、使用頻率、使用環(huán)境等因素。根據(jù)條件選擇對(duì)應(yīng)的合適產(chǎn)品系列。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——石墨氣浮導(dǎo)軌廠家

目前市場(chǎng)上直線(xiàn)導(dǎo)軌的生產(chǎn)廠家很多，各個(gè)廠家的型號(hào)命名和類(lèi)型有所不同。中達(dá)PMI的直線(xiàn)導(dǎo)軌類(lèi)型比較齊全，基本上可以完全覆蓋市場(chǎng)上的所有需求，其主要的類(lèi)型有自調(diào)心全鋼i珠重負(fù)荷型(MSA)、自調(diào)心全鋼i珠低組裝型(MSB)、全不銹鋼微小型(MSC)、全滾柱重負(fù)荷型(MSR)、靜音鋼i珠(柱)重負(fù)荷型(SME/R)。