凈化車(chē)間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝規(guī)定來(lái)明確，在考慮加工工藝的標(biāo)準(zhǔn)下，優(yōu)選應(yīng)當(dāng)考慮到（cider)人的舒適度。伴隨著氣體潔凈度等級(jí)規(guī)定的提升，加工工藝對(duì)溫濕度的規(guī)定也愈來(lái)愈高，凈化車(chē)間務(wù)必做到一定的溫濕度級(jí)別。 比如在規(guī)模性集成電路芯片生產(chǎn)制造(Produce)的光刻曝出（exure)加工工藝中，做為掩膜板原材料的夾層玻璃與硅(silicon)片的熱變形(inflate)指數(shù)的差規(guī)定愈來(lái)愈小。凈化車(chē)間凈化車(chē)間原材料是凈化車(chē)間墻、頂板才一般多選用50毫米厚的夾心彩鋼板生產(chǎn)制造，其特性為美觀大方、剛度強(qiáng)、隔熱保溫性能好、易工程施工。

凈化車(chē)間共有五部分組成：

1、隔間

凈化車(chē)間隔間分為三大部分,更衣室,千級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū),更衣室與千級(jí)區(qū),千級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū)均設(shè)風(fēng)淋室(airshower),凈化車(chē)間與室外設(shè)有物品出入通道傳遞箱(passbox).當(dāng)人員進(jìn)入凈化車(chē)間時(shí),首先要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室,對(duì)人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車(chē)間的灰塵.傳遞箱則是對(duì)物品灰塵進(jìn)行吹淋,達(dá)到落塵的效果。

2、風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)系統(tǒng)流程圖

系統(tǒng)采用的是全新風(fēng)空調(diào)箱 FFU 系統(tǒng)：

<1>全新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)

<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風(fēng)機(jī)和過(guò)濾器

千級(jí)區(qū)過(guò)濾器采用HEPA,過(guò)濾效率99.997%,百級(jí)區(qū)過(guò)濾器采用ULPA,過(guò)濾效率99.9995%。

3、水系統(tǒng)水系統(tǒng)流程圖

冰水系統(tǒng)分為一次側(cè)和二次側(cè).

一次側(cè)冰水水溫7-12 度,供給空調(diào)箱和風(fēng)機(jī)盤(pán)管,二次側(cè)冰水12-17度供給干盤(pán)管系統(tǒng).一次側(cè)冰水和二次冰水為兩個(gè)不同的回路,之間由板式換熱器連接.

板式換熱器原理

干盤(pán)管:不結(jié)露的盤(pán)管,因凈化車(chē)間溫度在22 度,其溫度12 度左右,故7 度冰水不能直接進(jìn)入凈化車(chē)間,所以進(jìn)干盤(pán)管的冰水溫度在12-14 度.

4、控制系統(tǒng)(DDC)溫度:干盤(pán)管系統(tǒng)控制

濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過(guò)感測(cè)的信號(hào),控制三通閥開(kāi)度來(lái)調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤(pán)管進(jìn)水量。

正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測(cè)的信號(hào),自動(dòng)調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。

車(chē)間的無(wú)塵環(huán)境也就是我們常說(shuō)的無(wú)塵車(chē)間或者潔凈室，即給一個(gè)相對(duì)密閉的空間送入潔凈的新風(fēng)，并設(shè)置有一定的回風(fēng)或者排風(fēng)系統(tǒng)，給空間適當(dāng)?shù)募訅禾幚?。下面，SAREN三仁小編帶大家了解一下無(wú)塵車(chē)間怎么做。無(wú)塵車(chē)間裝修施工要求：地面處理做自流平地面處理，鋪設(shè)2mm厚PVC地板。根據(jù)GMP規(guī)范要求，潔凈室在設(shè)計(jì)和安裝時(shí)應(yīng)考慮使用中不易清潔的部位。在進(jìn)行凈化裝修時(shí)，門(mén)窗安裝與建筑、凈化空調(diào)、各種管線、照明燈具的結(jié)合部位縫隙要密封處理。所有的配件、隔墻、吊頂?shù)墓潭ê偷鯍旒荒芘c主體結(jié)構(gòu)相連，不能與設(shè)備和管線支架交叉混用，防止因微震引起裝飾材料松動(dòng)和灰塵脫落。建筑裝飾和門(mén)窗的縫隙應(yīng)在正面密封。

選用符合凈化車(chē)間要求的設(shè)備盡量選用符合凈化車(chē)間要求的工藝設(shè)備，但實(shí)際上有相當(dāng)比例的工藝設(shè)備并不符合凈化車(chē)間的要求。表現(xiàn)在凹凸不平、易產(chǎn)生積塵、污染環(huán)境等方面。這類(lèi)設(shè)備安裝完成后，可在不影響使用的情況下，采用不銹鋼板等材料進(jìn)行裝飾，使其表面平整、光滑。

來(lái)用密閉、隔離或排塵等措施有效控制污染物的擴(kuò)散對(duì)于產(chǎn)塵或散發(fā)其他污染物的設(shè)備及工藝過(guò)程，要盡可能地采用密閉、隔離等措施將其封閉或圍擋，并輔以局部排風(fēng)，將污染物的擴(kuò)散限制在一個(gè)較小的密閉或隔離空間并及時(shí)排走，以限制污染物向凈化車(chē)間其他區(qū)域的擴(kuò)散。