氮?dú)狻?strong>高純氮?dú)?/strong>使用操作時(shí)要注意什么：

進(jìn)行吹掃、置換的設(shè)備、管道系統(tǒng)必須采取可靠的隔離。所有與吹掃無(wú)關(guān)的部位、系統(tǒng)要關(guān)閉或加盲板隔離，相關(guān)的操作嚴(yán)格按盲板示意圖執(zhí)行，同時(shí)附上盲板隔離檢查匯總記錄。置換時(shí)要逐個(gè)打開所有的排污閥或放空閥泄壓和排放余液，調(diào)節(jié)閥的前后閥旁通也應(yīng)打開。

?置換應(yīng)根據(jù)氮?dú)夂捅恢脫Q介質(zhì)密度的不同，選擇氮?dú)膺M(jìn)入點(diǎn)和被置換介質(zhì)的排放點(diǎn)，確定取樣分析部位，以免遺漏，防止出現(xiàn)死角。在規(guī)定的采樣點(diǎn)測(cè)量氧含量、烴類氣體含量，采樣點(diǎn)應(yīng)選在氮?dú)庵脫Q接氣口的下游(終點(diǎn)和易形成死角的部位附近)。氮?dú)庵脫Q至氧含量小于0.5%后，泄壓至微正壓狀態(tài)保壓。

什么是電子氣體

電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。例如在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過道，其中大約要使用種不同種類的電子氣體。

電子氣體輸送系統(tǒng)是指為滿足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無(wú)二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數(shù)、穩(wěn)定地輸送到工藝生產(chǎn)設(shè)備的用氣點(diǎn)。根據(jù)氣體性質(zhì)和供應(yīng)包裝的不同。

標(biāo)準(zhǔn)氣體有哪些分類

標(biāo)準(zhǔn)氣體有哪些分類？

1、常見的標(biāo)準(zhǔn)氣體按用途包括：氣體報(bào)警類標(biāo)準(zhǔn)氣體、電力能源類標(biāo)準(zhǔn)氣體、石油化工類標(biāo)準(zhǔn)氣體、環(huán)保監(jiān)測(cè)類標(biāo)準(zhǔn)氣體、衛(wèi)生類標(biāo)準(zhǔn)氣體、儀器儀表類標(biāo)準(zhǔn)氣體等。

2、標(biāo)準(zhǔn)氣還可用于環(huán)境監(jiān)測(cè)，有毒的有機(jī)物測(cè)量，汽車排放氣測(cè)試，然氣BTU測(cè)量，校正標(biāo)準(zhǔn)，超臨界流體工藝等。

3、大型乙烯廠，合成氨廠及其它石化企業(yè)，在裝置開車，停車和正常生產(chǎn)過程中需要幾十種純氣和幾百種多組分標(biāo)準(zhǔn)混合氣，用來(lái)校準(zhǔn)，定標(biāo)生產(chǎn)過程中使用的在線分析儀器和分析原料及產(chǎn)品質(zhì)量的儀器。

標(biāo)準(zhǔn)氣體是引有氣體工業(yè)名詞，標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是高度均勻的，良好穩(wěn)定和量值準(zhǔn)確的測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)，它們具有復(fù)現(xiàn)，保存和傳遞量值的基本作用，在物理，化學(xué)，生物與工程測(cè)量領(lǐng)域中用于校準(zhǔn)測(cè)量?jī)x器和測(cè)量過程，評(píng)價(jià)測(cè)量方法的準(zhǔn)確度和檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室的檢測(cè)能力，確定材料或產(chǎn)品的特性量值，進(jìn)行量值仲裁等。

標(biāo)準(zhǔn)氣體的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)—— 標(biāo)準(zhǔn)氣體是物質(zhì)的一個(gè)態(tài)。氣體與液體一樣是流體：它可以流動(dòng)，可變形。與液體不同的是氣體可以被壓縮。假如沒有限制（容器或力場(chǎng)）的話，氣體可以壙散，其體積不受限制。標(biāo)準(zhǔn)氣體氣態(tài)物質(zhì)的原子或分子相互之間可以自由運(yùn)協(xié)。氣態(tài)物質(zhì)的原子或分子的動(dòng)能比較高。