凈化車間FFU控制方式

凈化車間FFU控制方式之計算機控制：此系統(tǒng)與前面兩種方式相比，計算機控制方式先進的功能，不但可以采用集散型控制方式，能夠很方便的實現(xiàn)FFU的集中監(jiān)測和控制，而且還可以方便的實現(xiàn)FFU的單臺、多臺及分區(qū)控制。另外可以設(shè)置控制系統(tǒng)預留通信接口，可與上位機或網(wǎng)絡進行通訊，從而實現(xiàn)遠程通信和管理功能。

早期的工業(yè)潔凈室

個工業(yè)生產(chǎn)用潔凈室是在第二次世界1大戰(zhàn)中投入使用的，其主要目的是提高槍1械、坦克、飛機用儀器的質(zhì)量和可靠性。那時人們認識到，必須提高生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度，否則投彈瞄準器這樣的裝置就會出現(xiàn)故障。但當時只要假定潔凈室要保持得象人們的住房那樣清潔，于是便使用了不產(chǎn)生粒子的不銹鋼做表面裝修并保持其清潔。但人們還沒有認識到，由機器和人員產(chǎn)生的大量懸浮粒子之擴散，應由大量的潔凈送風使之降至zui低。

半導體、集成電路生產(chǎn)的無塵車間要求

半導體材料提純作為發(fā)展半導體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個突出問題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個數(shù)有關(guān)。因此，集成電路的高速發(fā)展，不僅對空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求，而且也需進一步控制粒子數(shù)；同時，對于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境的化學污染控制也有相關(guān)的要求。

凈化車間的平面規(guī)劃

凈化車間通常包含凈化區(qū)、準凈化區(qū)和輔佐區(qū)三有些。

凈化車間的平面安置能夠有以下幾種方法：

外廊環(huán)繞式：外廊能夠有窗和無窗，兼作觀賞和放置一些設(shè)備用，有的在外廊內(nèi)設(shè)值班采暖。外窗有必要是雙層密封窗。

內(nèi)廊式：凈化車間設(shè)在外圍，而走廊設(shè)在內(nèi)部，這種走廊的凈化度等級通常都較高，乃至和凈化車間同級。

兩頭式：凈化區(qū)設(shè)在一邊，另一邊設(shè)準凈化和輔佐用房。

中心式：為了節(jié)約用地、縮短管線，能夠凈化區(qū)為中心，上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來，這種方法避開室外氣候?qū)艋瘏^(qū)的影響，削減了冷熱能耗，利于節(jié)能。