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發(fā)布時(shí)間:2021-10-22 06:28  
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PVD鍍膜過(guò)程非常復(fù)雜,由于鍍膜原理的不同分為很多種類,僅僅因?yàn)槎夹枰哒婵斩榷鴵碛薪y(tǒng)一名稱。所以對(duì)于不同原理的PVD真空鍍膜,影響均勻性的因素也不盡相同。并且均勻性這個(gè)概念本身也會(huì)隨著鍍膜尺度和薄膜成分而有著不同的意義。PVD鍍膜加工過(guò)程的均勻性分析:化學(xué)組分上的均勻性:就是說(shuō)在薄膜中,化合物的原子組分會(huì)由于尺度過(guò)小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果鍍膜過(guò)程不科學(xué),那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分,這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。
pvd真空蒸發(fā)鍍膜:定義:pvd真空蒸發(fā)鍍膜是在真空條件下,用蒸發(fā)器加熱蒸發(fā)物質(zhì)使之汽化,蒸發(fā)粒子流直接射向基片并在基片上沉積形成固態(tài)薄膜的技術(shù)。真空蒸發(fā)踱膜主要經(jīng)歷:1、采用各種能源方式轉(zhuǎn)換成熱能,加熱膜材使之蒸發(fā)或升華,成為具有一定能星的氣態(tài)粒子(原子、分子和原子團(tuán));2、離開(kāi)膜材表面,具有相當(dāng)運(yùn)動(dòng)速度的氣態(tài)粒子以基本上無(wú)碰撞的直線飛行輸運(yùn)到基體表面;3、到達(dá)基體表面的氣態(tài)粒子凝聚形核后生長(zhǎng)成固相薄膜;4、組成薄膜的原子重組排列或產(chǎn)生化學(xué)鍵合。