影響無(wú)塵室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、無(wú)塵室組裝材、照明器具等，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。發(fā)菌量工作人員產(chǎn)生的污染1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）2）頭發(fā)：人類的頭發(fā)（直徑約為50~100微米）一直在脫落。一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于無(wú)塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至鳎藭r(shí)大部分的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺(tái)因而將受到污染，良率也勢(shì)必降低。

     在電子元件制品的制造過(guò)程中，微粒子污染對(duì)成品率有重大影響，故應(yīng)在過(guò)程中嚴(yán)格控制微粒子的數(shù)量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲(chǔ)備、除去”四項(xiàng)基本原則以防止微粒子污染。

　 無(wú)塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用的過(guò)濾器即可容易達(dá)到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

　　無(wú)塵室內(nèi)防止微粒子污染基本原則：

      排除/除去

　　在無(wú)法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中，為了不讓無(wú)塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源消耗。防靜電垂簾：四周圍用防靜電垂簾（或鋼化玻璃），防靜電效果好、透明度高、網(wǎng)格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化。所以無(wú)法說(shuō)是理想的對(duì)策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無(wú)塵室外排氣，負(fù)離子檢測(cè)儀而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無(wú)塵室內(nèi)之對(duì)策。