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發(fā)布時(shí)間:2020-10-31 05:31  
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使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過絕i對(duì)反射率進(jìn)行測(cè)量,可進(jìn)行高i精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。
可通過非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測(cè)量時(shí)間上,能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件
考慮到表面粗糙度測(cè)量的膜厚值[FE-0007]
當(dāng)樣品表面存在粗糙度(粗糙度)時(shí),將表面粗糙度和空氣(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模擬為“粗糙層”,可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測(cè)量表面粗糙度為幾nm的SiN(氮化硅)的情況。
膜厚測(cè)試儀的預(yù)熱 關(guān)機(jī)超過3個(gè)小時(shí)開機(jī)必做。點(diǎn)擊“波數(shù)”,將波譜校準(zhǔn)片放入儀器,將Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,設(shè)定測(cè)量時(shí)間為6S重復(fù)測(cè)量次數(shù)為30~50次,點(diǎn)擊Go鍵,等待自動(dòng)連續(xù)測(cè)量完成。
影響膜厚儀測(cè)量的的客觀因素
耦合劑對(duì)膜厚儀的影響。耦合劑是用來排除探頭和被測(cè)物體之間的空氣,使超聲波能有效地穿入工件達(dá)到檢測(cè)目的。如果選擇種類或使用方法不當(dāng),將造成誤差或耦合標(biāo)志閃爍,無法測(cè)量。因根據(jù)使用情況選擇合適的種類,當(dāng)使用在光滑材料表面時(shí),可以使用低粘度的耦合劑;當(dāng)使用在粗糙表面、垂直表面及頂表面時(shí),應(yīng)使用粘度高的耦合劑。