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發(fā)布時間:2021-09-20 05:16  
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工業(yè)氣體在各行業(yè)中的應(yīng)用!
工業(yè)氣體的應(yīng)用范圍非常廣泛,種類也非常豐富,包括氧、氮、氬、氖、氦、氪、氙、氫、二氧化碳、乙炔、天然氣等。這些氣體各自具有不同的化學性質(zhì),應(yīng)用環(huán)境也各不相同,在國民經(jīng)濟中也具有舉足輕重的作用。
工業(yè)氣體用量的傳統(tǒng)行業(yè)主要有:煉鋼、煉鐵、有色金屬冶煉、化肥生產(chǎn)、乙稀、丙稀、聚氯乙稀、人造纖維、合成纖維、硅膠橡制品、電纜和合成革等,包括石油化學工業(yè)、機械工業(yè)焊接、金屬熱處理等。由于這些產(chǎn)業(yè)在近幾年發(fā)展迅猛,這些氣體的用量也隨之增加。

電子氣體的應(yīng)用及類別!
自從半導體問世以來,高純度電子氣體的可靠供應(yīng)在電子行業(yè)是至關(guān)重要的。首先通過不同的氣體流把雜質(zhì)原子引入到半導體材料來生產(chǎn)個別半導體元件,然后加以混合,再送進名為外延生長過程的反應(yīng)容器中。
在制造集成電路的過程中,超過30種不同的電子氣體被用于蝕刻沉積氧化摻雜,和惰性保護的應(yīng)用?,F(xiàn)代晶片電路的嚴格要求規(guī)定,百萬份數(shù)十億份甚至萬億份的水平的微量雜質(zhì)將導致重大的缺陷,并由于高廢品率導致成本增加。
一個典型的半導體生產(chǎn)廠的輔助設(shè)施提供包括以下幾類電子氣體:
?氮氣通常利用分離空氣在現(xiàn)場生產(chǎn)。它被廣泛使用在許多過程中作為提供惰性環(huán)境或一個過程完成后的反應(yīng)氣體。
?氧氣也可以在現(xiàn)場生產(chǎn)或以低溫液體交付。它使用于把硅氧化-是所有半導體制造中關(guān)鍵的過程之一。
?氬通常以低溫液體交付,并用于為金屬的濺射沉積提供惰性環(huán)境,因為氮氣的反應(yīng)性高而導致形成金屬氮化物。
?氫氣可以在現(xiàn)場生產(chǎn)、以低溫液體或壓縮氣體交付-這取決于消耗速率。它是用于為金屬膜進行退火時提供一種還原環(huán)境。
