無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

潔凈廠房“潔凈概念”的核心潔凈廠房“潔凈概念”的核心是控制塵埃。潔凈廠房從設計開始，到建筑、裝修，以及空氣凈化、氣流組織、人員凈化等要素都圍繞這個核心。潔凈廠房保潔也離不開這個核心。潔凈廠房保潔技術潔凈廠房的建設雖然對塵埃控制有了很高的保障，但是，建筑裝修材料、設施設備、生產(chǎn)工藝、人員都會不同程度的發(fā)塵和塵埃積聚，尤其是10000級、100000級潔凈廠房(因建造成本限制)。

對于半導體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學藥品，當我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。