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發(fā)布時間:2021-09-11 14:19  

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長方形一體成型腔室

超高真空(UHV)是一門精密技術的藝術,各種鍍膜、檢測分析、量測、及其他實驗皆可根據(jù)需求整合在一個或多個的超高真空(UHV)腔體(箱體),或以超高真空傳輸系統(tǒng)進行鏈接,Htc日揚真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經(jīng)驗及技術。我們根據(jù)不同的實驗需求對超高真空(UHV)腔體(箱體)進行精密的設計,能滿足配合客戶實驗上的各種質(zhì)量及性能要求。

1. 腔體常規(guī)材質(zhì):不銹鋼304,可定制不銹鋼316、316L腔體;

2. 腔體可根據(jù)需求設有快開進樣門,鉸鏈機構(gòu),移動靈活,快開門密封件材質(zhì)采用氟橡膠;

3. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶需求定制;

4. 腔室內(nèi)外徹底超聲波清洗,表面清潔;

5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;

6. 配合適的真空系統(tǒng),真空度可進入10-6Pa;

7. 供貨周期:確認方案后5到6周;

以下是沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您一起分享的內(nèi)容,沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業(yè)生產(chǎn)長方形一體成型腔室產(chǎn)品,歡迎新老客戶蒞臨。



真空腔體加工

真空腔體在薄膜涂層、微電子、光學器件和材料制造中,是一種能適應高真空環(huán)境的特殊容器。真空腔體通常包括一系列部品——如鐘形罩、基板、傳動軸以及輔助井,這些構(gòu)成一個完整的真空腔體。

相關真空機械加工:超高真空系統(tǒng)典型腔體、真空零部件加工、真空轉(zhuǎn)接頭、真空連接件。我們的制造工程師具有熟練的加工、焊接高真空和超高真空腔體用材料的能力,如304/304L/316/316L/316LN/410/416,我們有長期加工制造經(jīng)驗,制作材料有保證。真空腔體的制造從原料采購,制造工藝,焊接方法,表面處理,氦泄漏檢查,焊后加工出來的成品的尺寸測量,還有表面是否有磨砂粒,是否粗糙,是否美觀,是否進行了表面處理,是否符合客戶的一系列系統(tǒng)中的運用,都由我們嚴格把關。真空室材質(zhì):304SS、304LSS、316SS、316LSS、 鋁真空等級:基本壓力、可接受的的泄漏率表面處理:機械拋光、電解拋光、化學清洗特殊要求:真空烘烤、殘余氣體分析額外配件:盲板法蘭、旋轉(zhuǎn)位移器、觀察窗需求檢驗報告:三坐標檢測報告、合格證書、材質(zhì)證明

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真空腔體中抽氣管道的設計原則

為一個工藝選擇真空泵時,工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達到大,需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。

看起來似乎很簡單,但是這里有許多因素需要考慮。實際上,如果我們從物理學角度考慮,就可以明確哪些是關鍵因素。真空腔體

在穩(wěn)定狀態(tài)的條件下,如果抽氣管道內(nèi)沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝),抽氣管道任何截面的質(zhì)量流量必須相同。簡單而言,進入工藝室的氣體必須從泵出來。

已知氣體摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、溫度為T(開爾文),則質(zhì)量流量計算如下:

質(zhì)量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)

Ro=通用氣體常數(shù)

對于大多數(shù)抽氣系統(tǒng)而言,氣體溫度(T)在抽氣管道中不會顯著減少,而且可以合理地假定為恒定的。

在此情況下,抽氣管道任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體

由于抽氣管道的壓力差是氣體流動的推動力,可見壓力(P)必須在工藝室中為高值,在泵入口為低值。

由于我們假定通量恒定,可見抽氣速率(S)在工藝室為小值,在泵入口為大值(等于泵速)。