表面粗糙度是表征光學(xué)元件表面質(zhì)量的一個重要指標(biāo) ,這使得人們不斷致力于改進(jìn)表面粗糙度的測量技術(shù) ,以提高其測量精度。然而很多實(shí)驗(yàn)表明 ,在對超光滑表面粗糙度進(jìn)行測量時 ,對于同一個表面 ,不同類型的表面輪廓儀通常會給出不同的結(jié)果 ,這使得測量結(jié)果之間的可比性成為問題。針對這種情況 ,分析了表面輪廓儀的帶寬對表面粗糙度測量的影響。

二次元影像測量儀，又叫影像測繪儀，它是集光、機(jī)、電、計算機(jī)等為一體的高精密測量儀器。因此對兩種不同類型的輪廓儀測得的結(jié)果一般不能直接進(jìn)行比對。結(jié)果表明 ,表面輪廓儀的帶寬對表面粗糙度測量有著重要影響 ,輪廓儀的帶寬越寬 ,則給出的測量值越大 ,也越接近真實(shí)值。并用離散傅里葉變換方法計算了表面粗糙度測量值隨表面輪廓儀帶寬的變化。

隨著時代的發(fā)展，越來越多產(chǎn)品需要輪廓儀進(jìn)行測量，那輪廓儀是如何測量一件物體的呢下面就讓我們來了解一下吧。啟動前的準(zhǔn)備工作在當(dāng)前儀器市場上，許多精密儀器對環(huán)境的要求更高？集成電路行業(yè)中，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量硅晶圓或陶瓷晶圓的表面粗糙度；EMES行業(yè)中，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀測量臺階高度和表面粗糙度；軍事領(lǐng)域，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可測量藍(lán)寶石觀察窗的表面粗糙度；