好的潔凈車間設(shè)計不僅能節(jié)省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。機組所有進出管路全部保溫，閥門、接頭保溫要留出維護操作部位，如采用蒸汽盤管，在蒸汽管口處須安裝疏水器，排水通暢。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計趨勢。

衛(wèi)生管理系統(tǒng)

1、為了防止交叉污染，清掃凈化車間設(shè)施的工具均應(yīng)按產(chǎn)品特點、工藝要求、空氣潔凈度級別的不同分別專用，垃圾裝入防塵袋中拿出。

2、GMP車間的清掃必須在上下班前、生產(chǎn)工藝操作結(jié)束后進行，并且要在凈化車間空調(diào)系統(tǒng)運行中進行，此外，清掃工作結(jié)束后，凈化空調(diào)系統(tǒng)要繼續(xù)運行，直到恢復(fù)規(guī)定的潔凈級別為止，開機運行時間一般不短于該GMP車間的自凈時間。

采用低阻力空氣過濾器：盡量采用低阻力空氣過濾器，以降低送風(fēng)機的壓頭損失，減少電能的消耗，或及時清潔、更換過濾器，減少系統(tǒng)運行阻力，節(jié)省運行費用?？諝膺^濾器在使用中，其阻力達到初阻力的2倍時，則可更換，但為了減少系統(tǒng)運行中的電耗，如果經(jīng)濟上又合理時，則可以在空氣過濾器的阻力達到初阻力的1.5倍時進行更換，這樣即可節(jié)省電耗，減少運行費用。充分發(fā)揮潔凈室圖紙審查中心的職能作用，像工程質(zhì)監(jiān)站監(jiān)督施工質(zhì)量一樣，審查、監(jiān)督設(shè)計質(zhì)量。中凈環(huán)球凈化可提供安徽車間凈化、凈化工程的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計、施工、安裝、改造等配套服務(wù)。