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發(fā)布時(shí)間:2020-12-15 11:28  
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由于感光油墨的主體樹脂含有親水基團(tuán),在堿水溶液中溶解性很好,通常用1%-1.5%的碳酸鈉水溶液顯影,將未見紫外光部分的油墨溶解掉。在顯影過程中,溫度對油墨的溶解速度影響很大,提高顯影溫度要比提高碳酸鈉水溶液的濃度,對顯影速度來說將要快得多。通常把顯影液溫度控制在30-34攝氏度為zui佳范圍。顯影時(shí)間為15-32min。如果溫度過低,未感光的油墨溶解得太慢,制品上會留下余墨;若溫度過高,會使光固化部分的墨膜受到損害或使線條變形,影響墨膜的機(jī)械強(qiáng)度,使抗電鍍和抗蝕性能下降。
非曝光區(qū)的光刻膠由于在曝光時(shí)并未發(fā)生化學(xué)反應(yīng),在顯影時(shí)也就不會存在這樣的酸堿中和,因此非曝光區(qū)的光刻膠被保留下來。經(jīng)過曝光的正膠是逐漸溶解的,中和反應(yīng)只在光刻膠的表面進(jìn)行,因此正膠受顯影液的影響相對比較小。進(jìn)行顯影的方式有很多種,廣泛使用的方法是噴灑方法。這種顯影方式可以分為三個(gè)階段:硅片被置于旋轉(zhuǎn)臺 上,并且在硅片表面上噴灑顯影液;然后硅片將在靜止的狀態(tài)下進(jìn)行顯影;顯影完成后,需要經(jīng)過漂洗,之后再烘干。