真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點

真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)

1．配置與氣路控制

真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。

工件抽空系統(tǒng)：低真空泵及閥門，低真空測量充氮與回收系統(tǒng)：氦氣儲存罐(高壓罐)，氦氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機，輔壓縮機，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統(tǒng)：為自動控制型，由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器)，充氦回收系統(tǒng)，真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計，同時，實施對整個系統(tǒng)的工作控制，對檢漏過程和結(jié)果顯示。

2.系統(tǒng)檢測過程

1)、通過v1、V4，泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空，如果限定的時間內(nèi)抽到限定的真空度，此時，電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉V1，打開V2

2)、充氦系統(tǒng)通過V2對工件進行充氦至核定的壓力，穩(wěn)定，關(guān)閉V2

3)、關(guān)閉V4，打開V3、V5，處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏，如果不漏，電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷V3、V5，打開V2對氦氣進行回收。

4)、關(guān)閉V2打開V6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設(shè)定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報警，將：工作內(nèi)的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。

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真空檢漏技術(shù)

真空檢漏技術(shù)就是用適當?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術(shù)，相應的儀器稱為檢漏儀。在真空系統(tǒng)、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術(shù)確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統(tǒng)、容器、器件中的真空狀態(tài)得以維持。耐壓要求：對產(chǎn)品加壓到實驗壓力，保壓一段時間，降到常壓，經(jīng)檢查無泄漏和異常變形。

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真空箱氦檢漏

真空箱氦檢漏，根據(jù)氦檢漏的基本檢漏原理，用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內(nèi)將氦氣充入工件，然后通過氦檢漏儀能、迅速準確的判斷工件的泄露情況。

基本技術(shù)參數(shù)編輯真空箱數(shù)量： 根據(jù)實際需要真空箱容積： 根據(jù)實際需要示漏氦氣壓力：根據(jù)實際需要耐壓試驗壓力：根據(jù)實際需要檢漏生產(chǎn)節(jié)拍：根據(jù)實際需要氦氣回收率： ≧98%‘’

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系統(tǒng)嚴格按照客戶的要求設(shè)計制造，采用模塊化的設(shè)計，充分考慮客戶的檢漏要求，同時也盡可能采用標準化的模塊和部件，保證了系統(tǒng)的可靠性和可維護性。真空箱式氦檢漏設(shè)備適用對空腔電力工件進行氦質(zhì)譜檢漏SF6充注，首先對工件充注一定壓強的干燥壓縮空氣或氮氣，保壓判大漏。大漏合格后，對工件和真空箱抽真空，被檢工件充注氦氣，應用真空箱法進行氦質(zhì)譜氣密性檢測；真空箱式氦檢漏系統(tǒng)以下是科創(chuàng)真空為您一起分享的內(nèi)容，銳誠真空公司專業(yè)生產(chǎn)銷售氦檢漏設(shè)備，歡迎新老客戶蒞臨。然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用、充注SF6。全電腦控制，全自動檢測，排除操作者人為因素導致的誤判。自動判斷，聲光提示。

本設(shè)備嚴格按照“用戶技術(shù)要求”設(shè)計制造。

本設(shè)備適用對空腔電力工件進行氦質(zhì)譜檢漏、SF6及氮氣充注，首先對工件進行真空內(nèi)外壓強抽空，真空法判大漏。大漏合格后，對工件和真空箱抽真空，被檢工件充注氦氣，應用真空箱法進行氦質(zhì)譜氣密性微檢漏檢測；離泄漏點越遠，射束就散開得越大，但即便距離泄漏點相當遠的距離，射束可能依然非常細窄。然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用、充注SF6及氮氣工作氣體。通過本裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格產(chǎn)品。

主要技術(shù)參數(shù)及要求：

1、 真空箱尺寸：長00mm×寬00mm×高00 mm

充氦氣壓力：0.05Mpa（可調(diào)）

2、 工作節(jié)拍：＜40分鐘/件

3、 箱內(nèi)接口數(shù)量：大件1個工件接口。小件2個工作接口。

4、 氦氣回收率：95%-98%

5、 可檢漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S

(報警漏率設(shè)置1×10-7Pam3/S時，應可檢出)

6、 保壓檢測時間：（1-600S可調(diào)）

7、 工件真空≤1000Pa

8、真空箱檢漏真空≤20 Pa

9、系統(tǒng)自身漏率：≤10-9 Pa m3/s

10、箱門開關(guān)方式：自動

真空箱體加送料車。料車尺寸高度需甲方確認。