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RR5光刻膠公司按需定制 賽米萊德公司

發(fā)布時間:2021-07-23 17:39  

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LCD市場助力

全球LCD面板總出貨面積增長,LCD光刻膠需求增加。據(jù)WitsView數(shù)據(jù),雖然近三年國際LCD廠商面板出貨量有所下降,但是由于大屏顯示的市場擴增,LCD整體出貨面積變大,2016年出貨總面積達到1.7億平方米,同比增長4.6%。隨著LCD出貨面積的持續(xù)增長,中國產(chǎn)業(yè)信息網(wǎng)預測,未來幾年全球LCD光刻膠的需求量增長速度為4%~6%。4,曝光前烘好的存底放在光刻膠襯底放在光刻機上,經(jīng)與光刻版對準后,進行曝光,接受光照的光刻膠發(fā)生化學變化,形成潛影,光源與光刻膠相匹配,也就是光源波長在光刻膠的敏感波段。隨著國內(nèi)廠商占據(jù)LCD市場比重越來越大,國內(nèi)LCD光刻膠需求也會持續(xù)增長。


光刻膠國內(nèi)研發(fā)現(xiàn)狀

“造成與國際水平差距的原因很多。過去由于我國在開始規(guī)劃發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)上,布局不合理、不完整,特別是生產(chǎn)加工環(huán)節(jié)的投資,而忽視了重要的基礎(chǔ)材料、裝備與應用研究。光刻膠中的感光劑會發(fā)生光化學反應,從而使正光刻膠被照射區(qū)域(感光區(qū)域)、負光刻膠未被照射的區(qū)域(非感光區(qū))化學成分發(fā)生變化。目前,整個產(chǎn)業(yè)是中間加工環(huán)節(jié)強,前后兩端弱,核心技術(shù)至今被TOK、JSR、住友化學、信越化學等日本企業(yè)所壟斷。

光刻膠的主要技術(shù)指標有解析度、顯影時間、異物數(shù)量、附著力、阻抗等。每一項技術(shù)指標都很重要,必須全部指標達到才能使用。因此,國外企業(yè)在配方、生產(chǎn)工藝技術(shù)等方面,對中國長期保密。中國的研發(fā)技術(shù)有待進一步發(fā)展



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5,顯影液

在已經(jīng)曝光的硅襯底膠面噴淋顯影液,或?qū)⑵浣菰陲@影液中,正膠是曝光區(qū)、而負膠是非曝光區(qū)的膠膜溶入顯影液,膠膜中的潛影顯現(xiàn)出來,形成三維圖像。



顯影完成后通常進行工藝線的顯影檢驗,通常是在顯微鏡下觀察顯影效果,顯影是否徹底、光刻膠圖形是否完好。

影響顯影的效果主要因素:

1,曝光時間,2前烘溫度和時間,3光刻膠膜厚,4顯影液濃度溫度,5顯影液的攪動情況。





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NR9-3000PY 負性光刻膠

負膠 NR9-3000PY 被設(shè)計用于i 線(365 nm)曝光,可使用如步進光刻、掃描投影式光刻、接近式光刻

和接觸式光刻等工具。

顯影之后,NR9-3000PY 展現(xiàn)出一種倒梯形側(cè)壁,這可以方便地作單純的LIFT-OFF 處理。

NR9-3000PY 相對于其他光刻膠具有如下優(yōu)勢:

- 優(yōu)異的分辨率性能

- 快速地顯影

- 可以通過調(diào)節(jié)曝光能量很容易地調(diào)節(jié)倒梯形側(cè)壁的角度

- 耐受溫度100℃

- 室溫儲存保質(zhì)期長達3 年

Lift-Off工藝

應用領(lǐng)域:LEDs,OLEDs,displays,MEMS,packaging,biochips。

濕法蝕刻,鍍 干法蝕刻(RIE/Ion Milling/Ion implantation)

附著力好Temperature resistance = 100°C 耐高溫Temperature resistance = 180°C

Resist Thickness NR9-3000PY 負性光刻膠

負膠 NR9-3000PY 被設(shè)計用于i 線(365

nm)曝光,可使用如步進光刻、掃描投影式光刻、接近式光刻