從加工方法的機理、特點和傳統(tǒng)來分類，精密和超精密加工又可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復(fù)合加工。傳統(tǒng)加工是指刀具切削加工、固結(jié)磨料和游離磨料的磨削加工；主放大器具有高輸入阻抗，保證足夠大的開環(huán)增益以實現(xiàn)高精度運算，其輸出為一調(diào)幅波，幅值的變化與被測位移變化一一對應(yīng)。非傳統(tǒng)加工是指利用電能、磁能、聲能、光能、化學(xué)能和核能等對材料進行加工和處理；復(fù)合加工是采用多種加工方法的復(fù)合作用，進行優(yōu)勢互補，相輔相成。當(dāng)前，在制造業(yè)中，占主要地位的仍是傳統(tǒng)加工方法。  在加工精度的量級上，精密加工是指加工精度為1～0.1?μm，表面粗糙度為0.1～0.025μm的加工技術(shù)，超精密加工是指加工精度高于0.1?μm，表面粗糙度小于0.025?μm的加工技術(shù)。目前超精密加工已進入納米級精度階段，故出現(xiàn)了納米加工及其相應(yīng)的技術(shù)。

電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組成，可組成多測量通道數(shù)。

模塊化設(shè)計、自由組拼、高分辨率、模擬輸出、非接觸式測量。

它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標形成的兩個電極，采用保護環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。

由于超精密加工的精度等級和表面質(zhì)量都很高，因此，一定要有相應(yīng)的檢測手段，才能驗證工件是否達到了相應(yīng)的技術(shù)要求。在精密超精密加工和測量中，對測量技術(shù)提出了更為嚴格的要求，即要求測量誤差比加工誤差高一個數(shù)量級。目前，超精密測量儀正向高分辨力、高準確度和高可靠性的方向發(fā)展。公司發(fā)展了分辨率均可以達到1?nm的測量元件；美國HP、zygo、英國Taylor等公司的測量儀器均可以滿足納米測量的需求。CDMS使用電容傳感器實現(xiàn)非接觸位移、位置、振動、角度、介電常數(shù)及各種形變、厚度、剛度等參數(shù)的高精度檢測。