概述

EH 機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。

機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。

應(yīng)用

半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光

功能和優(yōu)勢(shì)

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過(guò) 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。

它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。

EH 泵具有高質(zhì)量的無(wú)油泵送機(jī)械裝置。這可提供：

安靜的無(wú)振動(dòng)運(yùn)行。

牢靠且防腐蝕。

先進(jìn)的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染

防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。

經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒(méi)有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門(mén)，因此可將維護(hù)要求降到低。

軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可確保潤(rùn)滑劑無(wú)法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。

訂購(gòu)信息

Edwards真空泵 EH4200 羅茨真空泵 愛(ài)德華羅茨泵 機(jī)械增壓泵

EH4200 Industrial

●EH4200IND 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30975946

●EH4200IND 200 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW NRC215000

●EH4200IND 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30976982

●EH4200IND 200 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp NRB988000

EH4200 PFPE*

●EH4200FX 220-240 V or 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW On application

●EH4200FX 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp On application

EH4200 Chemical**

●EH4200C 230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30956982

●EH4200T3 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30941935

●EH4200T160 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30979900

認(rèn)為真空泵機(jī)組內(nèi)密封水量不足，造成真空泵機(jī)組底部水量未充滿，氣水分離器內(nèi)的空氣漏入真空泵內(nèi)，使得真空泵內(nèi)的負(fù)壓形成得不夠高，噴射器的工作抽吸力不足。3極限壓力渦旋式無(wú)油真空泵的極限壓力是指不進(jìn)入氣體長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)，在測(cè)試罩內(nèi)所能達(dá)到的穩(wěn)定時(shí)的低壓力，用P。據(jù)此臨時(shí)采用手動(dòng)啟動(dòng)方式，先啟動(dòng)密封水泵運(yùn)行5min，然后再啟動(dòng)真空泵，這樣有效地控制了真空的降低，同時(shí)將冷卻器進(jìn)行清理(發(fā)現(xiàn)冷卻器內(nèi)較臟)，保證了密封水量充足。采取以上措施后，在倒換真空泵組運(yùn)行過(guò)程中，未再有真空下降的異常發(fā)生。