氦質譜檢漏儀適用領域

氦質譜檢漏儀，在一般工業(yè)領域里原子能、發(fā)電廠、配電站、合成氨的氮肥生產廠、汽車制造業(yè)、造船工業(yè)、制冷工業(yè)、冶金工業(yè)、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題,同樣在裝備中也離不開檢漏，彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、特殊部件的密封性都要用到氦質譜檢漏。 氦質譜檢漏方法在真空檢漏技術領域里已經得到廣泛的應用。

氦質譜檢漏儀的真空系統

氦質譜檢漏儀的真空系統提供質譜室正常工作所需要的真空條件，不同型號的氦質譜檢漏儀其真空系統有較大的差別。

1、檢漏閥：接在質譜室和被檢件之間的管道上。有些氦質譜檢漏儀采用節(jié)流閥，控制流入質譜室的氣體流量。

2、真空規(guī)：一般采用冷陰極磁控放電直空規(guī)(潘寧規(guī)，又稱冷規(guī))來測量質譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預抽壓力和系統的前級壓力的。

3、標準漏孔：一般氦質譜檢漏儀內都附有標準漏孔(大多為薄膜滲氦型)，用它來校準氦質譜檢漏儀的Z小可檢漏率和對氦質譜檢漏儀輸出指示進行定標。

氦質譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項

1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統保持真空，縮短儀器使用時的開機時間

2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。

3.適時對儀器可能出現的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發(fā)現漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。

4.檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）

5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經過培訓或有資格的設備維護工程師，才能使用此儀器。

6.使用時，注意觀察儀器的運行情況，一旦發(fā)現問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。