選真空泵注意事項(xiàng)

1. 使用環(huán)境是無(wú)塵車(chē)間，盡量選擇無(wú)油泵，或者真空泵放置在室外。

2 真空泵排除的油蒸汽對(duì)環(huán)境的影響。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。

3. 真空泵極限真空度應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。

4. 要知道客戶(hù)腔體容積，使用的真空度，要求抽真空泵的時(shí)間，有這些參數(shù)我們可以計(jì)算使用多大抽數(shù)的真空泵，再結(jié)合上面的選型要求，選擇合適的真空泵。

在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時(shí)又能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定的運(yùn)行，延長(zhǎng)真空泵維修維保時(shí)間，節(jié)約運(yùn)行成本，保證生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率，保證設(shè)備產(chǎn)能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會(huì)通入各種各樣的工藝氣體來(lái)完成產(chǎn)品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應(yīng)過(guò)程中有時(shí)會(huì)大量粉塵或容易結(jié)晶，如果粉塵和結(jié)晶物不能及時(shí)排除真空泵外，就容易在真空泵內(nèi)沉積，堆積到一定量時(shí)就會(huì)造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯，需要及時(shí)下機(jī)保養(yǎng)和維護(hù)，否則的話就會(huì)造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護(hù)成本又比較昂貴，選擇一臺(tái)耐粉塵，維保周期長(zhǎng)的真空泵是非常重要的。

無(wú)油節(jié)能真空泵

廣泛應(yīng)用于過(guò)濾、樣品濃縮、固相萃取等裝置中，是實(shí)驗(yàn)室重要的基礎(chǔ)設(shè)備。單級(jí)或雙極泵是通過(guò)橡膠膜片上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，無(wú)油節(jié)能真空泵多少錢(qián)，引導(dǎo)氣流通過(guò)泵頭，形成真空狀態(tài)。真空泵提供了完全潔凈的真空環(huán)境，新型無(wú)油節(jié)能真空泵多少錢(qián)，泵體本身無(wú)需保養(yǎng)，水環(huán)無(wú)油節(jié)能真空泵多少錢(qián)，而且不會(huì)產(chǎn)生任何污染物。無(wú)油真空泵相對(duì)有油真空泵來(lái)說(shuō)，抽取的氣體不會(huì)摻雜油氣?？色@得潔凈的真空環(huán)境