潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí),應(yīng)符合下列規(guī)定

潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1．電子工廠裝修對(duì)于傳輸、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾?。氮?dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。2．對(duì)傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過(guò)下限的20%時(shí)，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分。3．使用油潤(rùn)滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)。

半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)范圍

半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)范圍包括：裝修方案（圍護(hù)、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管、水管等），特氣供應(yīng)方案（特氣柜含保險(xiǎn)控制、房間氣體監(jiān)測(cè)、EP級(jí)管道及BA管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設(shè)備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理），電氣方案（空調(diào)設(shè)備動(dòng)力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺(tái)，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

有機(jī)廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理辦法

現(xiàn)今社會(huì)，無(wú)塵凈化車間的裝修被很多生產(chǎn)型企業(yè)所重視，無(wú)塵凈化車間不僅能對(duì)產(chǎn)品的精度、質(zhì)量、穩(wěn)定性及成功率等都有顯著的作用，同時(shí)還能在一定情況下保證工作人員的工作安全。對(duì)酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術(shù)。對(duì)于有機(jī)廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理辦法。因?yàn)榘雽?dǎo)體工藝過(guò)程中有機(jī)廢氣具有排放流量大（通常大于11039m3/小時(shí)）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點(diǎn)，使用其他的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪后再吸附或焚燒。