無塵車間一般包括無塵區(qū)、準無塵區(qū)和輔佐區(qū)三部分。無塵車間的平面安置能夠有以下幾種方法：

   外廊盤繞式：外廊能夠有窗和無窗，兼作觀賞和放置一些設備用，有的在外廊內設直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。

   內廊式：無塵車間設在外圍，而走廊設在內部，這種走廊的無塵度等級一般都較高，乃至和無塵車間同級。

   兩頭式：無塵區(qū)設在一邊，另一邊設準無塵和輔佐用房。

   中心式：為了節(jié)省用地、縮短管線，能夠無塵區(qū)為中心，上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來，這種方法避開室外氣候對無塵區(qū)的影響，削減了冷熱能耗，利于節(jié)能。

無塵車間的設備和物料出入口，應根據設備和物料的性質、形 狀等待征設置物料凈化用室及其設施。物料凈化用室的布置，應防止凈化后物料在傳遞過程中被污染。根據設計標準的要求，無塵車間必須考慮在設計和安裝時不要出現使用中難以清潔的部位。 進行凈化裝飾時，需要對門窗、建筑物、凈化空調、各種線路、照明燈具的結合部的間隙進行密封處理。

無塵車間是指控制產品(如硅片)所暴露的大氣的清潔度和溫度濕度，以便產品能夠在良好的環(huán)境中生產和制造。這個環(huán)境空間的設計和建造過程可以稱為凈化工程。無塵車間的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好， 且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。墻面內裝修當需附加構造骨架和保溫層時。應采用非燃燒體或難燃燒體。