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發(fā)布時間:2021-07-27 13:51  
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脈沖激光沉積系統(tǒng)特點及優(yōu)勢
可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品,靈活性高,并提供專業(yè)的技術(shù)支持;靶臺可以安裝6個靶位,靶材更換靈活;樣品臺樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進樣室可以存儲多個靶和樣品;交易過程無需繁瑣的進、出關(guān)手續(xù), 交貨期短,性價比高;
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脈沖激光沉積的應(yīng)用領(lǐng)域
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司專業(yè)生產(chǎn)、銷售脈沖激光沉積,以下信息由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司為您提供。
脈沖激光沉積技術(shù)適合做的薄膜包括各種多元氧化物,氮化物,硫化物薄膜,金屬薄膜,磁性材料等。
應(yīng)用領(lǐng)域:
單晶薄膜外延(SrTiO3,LaAlO3)
壓電薄膜(PZT,AlN,BiFeO3,BaTiO3)
鐵電薄膜(BaTiO3,KH2PO4)
熱電薄膜(SrTiO3)
金屬和化合物薄膜電極(Ti,Ag,Au,Pt,Ni,Co,SrRuO3,LaNiO3,YZrO2,GdCeO2,LaSrCoFeO3)
半導(dǎo)體薄膜(Zn(Mg)O,AlN,SrTiO3)
高K介質(zhì)薄膜(HfO2,CeO2,Al2O3,BaTiO3,SrTiO3,PbZrTiO3,LaAlO3,Ta2O5)
超導(dǎo)薄膜(YBa2CuO7-x,BiSrCaCuO)
光波導(dǎo),光學(xué)薄膜(PZT,AlN,BaTiO3,Al2O3,ZrO2,TiO2)
超疏水薄膜(PTFE)
紅外探測薄膜(V2O5,PZT)
脈沖激光沉積選件介紹
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司——專業(yè)生產(chǎn)、銷售脈沖激光沉積,我們公司堅持用戶為上帝,想用戶之所想,急用戶之所急,以誠為本,講求信譽,以產(chǎn)品求發(fā)展,以質(zhì)量求生存,我們熱誠地歡迎各位同仁合作共創(chuàng)輝煌。
連續(xù)組成擴展(CCS )
常規(guī)沉積條件下的組合合成
組合合成是一種基于脈沖激光沉積的、組合材料合成的新型連續(xù)組成擴展(CCS) 方法。PLD-CCS 系統(tǒng)能以連續(xù)的方式改變材料,沒有必要使用掩模??梢栽诿恳淮窝h(huán)中,以小于一個單分子層的速率,快速連續(xù)沉積每一種組份,其結(jié)果是基本等同于共沉積法。脈沖激光沉積選件介紹沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司——專業(yè)生產(chǎn)、銷售脈沖激光沉積,我們公司堅持用戶為上帝,想用戶之所想,急用戶之所急,以誠為本,講求信譽,以產(chǎn)品求發(fā)展,以質(zhì)量求生存,我們熱誠地歡迎各位同仁合作共創(chuàng)輝煌。該法無需在沉積后進行退火促進內(nèi)部擴散或結(jié)晶,對于生長溫度是關(guān)鍵參數(shù)的研究或者被沉積的材料或基片不適合高溫退火的情況是有用的。