羅茨真空泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。羅茨真空泵因為轉子在工作過程中無潤滑油參與，是無法通過潤滑油帶走工作時產生的熱量。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從吸氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然提高。

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羅茨真空泵又被稱為機械增壓泵，它是一種容積式真空泵，在羅茨真空泵的排氣口下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直接排大氣。

羅茨真空泵因為轉子在工作過程中無潤滑油參與，是無法通過潤滑油帶走工作時產生的熱量。羅茨泵工程，當羅茨泵被泵送時，兩個轉子由齒輪比為1的一對齒輪驅動，用于彼此同步旋轉。因為無內壓縮過程，排氣溫度非常高，若冷卻效果不好，會造成轉子和機殼變形，影響抽氣的效果。所以羅茨真空泵殼體采用雙層管壁中空結構，稱為冷卻套，其里面內置冷卻液，是羅茨真空泵的主要散熱通道。水冷是常見的方法，冷卻套中通冷卻水，可以達到羅茨真空泵冷卻殼體進而冷卻轉子的目的。同時可以在轉子內部通水冷卻，增加轉子壽命，并達到很好的冷卻效果。但該結構設計，需要一定的技術及加工水平支持。

羅茨真空泵噪音低、風機進、排氣口選用螺旋形狀，使進、排風進程按螺旋線的方向循序切入，避免了老式羅茨鼓風機排風時瞬間迸發(fā)的脈動噪音和振蕩。啟動快，耗功少，工作維護費用低，抽速大、功率高，對被抽氣體中所含的少數(shù)水蒸汽和塵埃不靈敏功能安穩(wěn)。羅茨真空泵的功能就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使它達到大要求的真空度。羅茨鼓風機風機轉子、機殼、墻板、軸等要害零件，均選用先進的控加工設備，使零部件的互換性進步。振蕩小。雖然轉子通過精細加工，已成平衡狀態(tài)，但仍選用高精度的動平衡設備進行平衡。絕熱功率和容積功率高，因此節(jié)能。羅茨風機轉子選用先進的復合曲線，嚙合愈加合理，并且增大了容積功率。選用高精度、高硬度的同步齒輪，不只使羅茨真空泵的壽數(shù)得到延長，還有用降低了噪音。