石英加速度傳感器是用撓性支承技術(shù)所以稱為石英撓性加速度傳感器，且其結(jié)構(gòu)與工藝與之野夫式的結(jié)果大大的簡(jiǎn)化了。目前這種石英撓性加速度傳感器已廣泛應(yīng)用于各類現(xiàn)代慣性體系中。為了掌握加速度計(jì)內(nèi)部溫度場(chǎng)規(guī)律,得到內(nèi)部的實(shí)時(shí)溫度,建立石英撓性加速度計(jì)的熱模型,進(jìn)行熱分析。根據(jù)仿模型設(shè)計(jì)溫度試驗(yàn),驗(yàn)證了模型的正確性。在加速度計(jì)穩(wěn)定狀態(tài)下,溫度值與試驗(yàn)值差0.2℃左右;根據(jù)試驗(yàn)結(jié)果對(duì)結(jié)果進(jìn)行修正,將修正后的結(jié)果與試驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行比較,得到兩者的差值為-0.011℃,有效地提高了結(jié)果的準(zhǔn)確性。因此,可以通過修正結(jié)果得到加速度計(jì)內(nèi)部的實(shí)時(shí)溫度。

石英撓性加速度計(jì)溫控儀是加速度計(jì)生產(chǎn)調(diào)試過程中的關(guān)鍵設(shè)備,作用是為加速度計(jì)溫度系數(shù)的測(cè)試提供環(huán)境條件。為模擬加速度計(jì)的實(shí)際工作條件55±3℃，生產(chǎn)過程中必須在55±0.5℃范圍內(nèi)進(jìn)行輸出信號(hào)的測(cè)試。石英撓性加速度計(jì)生產(chǎn)與應(yīng)用發(fā)展迅速，因此其相應(yīng)的溫度控制設(shè)備也非常重要。在溫度測(cè)控方面，分段PID加模糊PID控制方法得到了廣泛的應(yīng)用。模糊控制是以模糊集合論、模糊語言變量及模糊邏輯推理為基礎(chǔ)的計(jì)算機(jī)智能控制，模糊控制的核心部分是模糊控制器，其控制規(guī)律由計(jì)算機(jī)的程序?qū)崿F(xiàn)。一個(gè)模糊控制系統(tǒng)的性能優(yōu)劣主要取決于模糊控制器的結(jié)構(gòu)、所采用的模糊規(guī)則、合成推理算法以及模糊決策的方法等因素。石英撓性加速度計(jì)標(biāo)定系統(tǒng)中的閉環(huán)檢測(cè)電路。開發(fā)了基于單載波調(diào)制的電容檢測(cè)電路和伺服驅(qū)動(dòng)電路，在功率放大電路前引入校正環(huán)節(jié)，提高加速度計(jì)系統(tǒng)的動(dòng)靜態(tài)性能。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，電容檢測(cè)電路線性度好，分辨力可達(dá)到10-16 F量級(jí)，可檢測(cè)到的上限差值電容約為7 pF。

石英撓性加速度計(jì)標(biāo)定是用撓性支承技術(shù)所以稱為石英撓性加速度傳感器，且其結(jié)構(gòu)與工藝與之野夫式的結(jié)果大大的簡(jiǎn)化了。石英撓性加速度計(jì)是測(cè)量線加速度的高精度傳感器,在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中具有重要的作用。石英撓性加速度計(jì)屬于單軸重力加速度計(jì)，其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，精度和靈敏度高、可靠性高等。目前這種石英撓性加速度計(jì)已廣泛應(yīng)用于各類現(xiàn)代慣性系統(tǒng)中。