超精密切削加工

主要有超精密車削、鏡面磨削和研磨等。在超精密車床上用經(jīng)過(guò)精細(xì)研磨的單晶金剛石車刀進(jìn)行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、表面高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡，精度可達(dá)0.1微米，表面粗糙度為Rz0.05微米。

超精密特種加工

要獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設(shè)備控制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對(duì)掩膜上的光致抗蝕劑（見(jiàn)光刻）進(jìn)行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過(guò)的或未聚合過(guò)的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺(tái)定位精度高達(dá)±0.01微米的超精密加工設(shè)備。

精密機(jī)械加工工藝的作用，主要從三點(diǎn)來(lái)說(shuō)：

一、是指導(dǎo)生產(chǎn)的主要技術(shù)文件

機(jī)械加工車間生產(chǎn)的計(jì)劃、調(diào)度，工人的操作，零件的加工質(zhì)量檢驗(yàn)，加工成本的核算，都是以工藝規(guī)程為依據(jù)的。處理生產(chǎn)中的問(wèn)題，也常以工藝規(guī)程作為共同依據(jù)。如處理質(zhì)量事故，應(yīng)按工藝規(guī)程來(lái)確定各有關(guān)單位、人員的責(zé)任。

二、是生產(chǎn)準(zhǔn)備工作的主要依據(jù)

車間要生產(chǎn)新零件時(shí)，首先要制訂該零件的機(jī)械加工工藝規(guī)程，再根據(jù)工藝規(guī)程進(jìn)行生產(chǎn)準(zhǔn)備。如：新零件加工工藝中的關(guān)鍵工序的分析研究；準(zhǔn)備所需的刀、夾、量具；原材料及毛坯的采購(gòu)或制造；新設(shè)備的購(gòu)置或舊設(shè)備改裝等，均必須根據(jù)工藝來(lái)進(jìn)行。

三、是新建機(jī)械制造廠的基本技術(shù)文件

新建批量或大批量機(jī)械加工車間時(shí)，應(yīng)根據(jù)工藝規(guī)程確定所需機(jī)床的種類和數(shù)量以及在車間的布置，再由此確定車間的面積大小、動(dòng)力和吊裝設(shè)備配置以及所需工人的工種、技術(shù)等級(jí)、數(shù)量等。