真空熱處理幾乎可實現(xiàn)全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、滲鉻、氮化，在淬火工藝中可實現(xiàn)氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，它與普通熱處理相比較具有以下優(yōu)點。

而真空熱處理由于金屬是在一定的真空度下加熱，工件避免了與氧氣接觸，工件沒有氧化，無脫碳，可以得到光亮的表面及較好的熱處理質量，同時在真空狀態(tài)下，也不會發(fā)生還原反應，也就不會發(fā)生增碳現(xiàn)象。從下面工件表面添加保護劑后與真空淬火時的金相圖比較，可較明顯看到真空熱處理的優(yōu)勢所在。

加熱元件形式真空爐加熱元件的形式和材料有一定的不同一般以板式和棒式為多材料為高質量石墨。近年來CFC碳碳復合材料的出現(xiàn)表現(xiàn)出較大的技術優(yōu)勢有取代石墨的趨勢。同樣功率的情況下CFC材料厚度薄相對蓄熱小有利于提高冷卻速度。

功能購置爐子要考慮工藝的通用性即淬火回火使用溫度范圍要寬。特別是處理高合金鋼回火溫度較高并且淬火后不出爐直接進行回火十分方便。

真空熱處理加工技術的工藝原理：利用金屬在真空狀態(tài)下的變相特點，在與大氣壓只差0.1MPa范圍內的真空下，固態(tài)相變熱力學、動力學不產(chǎn)生什么變化。

真空熱處理加工的優(yōu)越性：真空熱處理加工是和可控氣氛并駕齊驅的應用面很廣的無氧化熱處理技術，也是當前熱處理生產(chǎn)技術先進程度的主要標志之一。真空熱處理不僅可以實現(xiàn)鋼件的無氧化、無脫碳，而且還可以實現(xiàn)生產(chǎn)的無污染和工件的少畸變，因而，它還屬于清潔和精密生產(chǎn)技術范疇。目前，它已成為工模具生產(chǎn)中的先進技術。